เราทุกคนรู้ดีว่ามีข้อกำหนดหลายประการของเป้าหมายสปัตเตอร์ซึ่งมีแย่ช่วงของการใช้งาน.Tเขามุ่งเป้าไปที่พันธุ์ที่นิยมใช้กันในอุตสาหกรรมต่าง ๆ อีกด้วย วันนี้เรามาดูกันดีกว่า กับ ปักกิ่งริชแมท ร่วมกันเพื่อเรียนรู้เกี่ยวกับการจำแนกประเภทอุตสาหกรรมเป้าหมายสปัตเตอร์.
หนึ่ง、คำจำกัดความของวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์
สปัตเตอร์ริ่งเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีหลักในการเตรียมวัสดุฟิล์มบาง ใช้ไอออนที่สร้างโดยแหล่งกำเนิดไอออนเพื่อสร้างลำแสงไอออนด้วยพลังงานความเร็วสูงผ่านการเร่งการรวมตัวในสุญญากาศ พื้นผิวของแข็งที่ถูกทิ้งระเบิด ไอออนและอะตอมของพื้นผิวของแข็งมีการแลกเปลี่ยนพลังงานจลน์ ดังนั้นอะตอมบนพื้นผิวของแข็งจึงออกจากของแข็งและสะสมอยู่บน พื้นผิวของสารตั้งต้น ของแข็งที่ถูกทิ้งระเบิดเป็นวัตถุดิบในการเตรียมฟิล์มที่สะสมด้วยสปัตเตอร์หรือที่เรียกว่าเป้าหมายสปัตเตอร์
二、การจำแนกประเภทฟิลด์การใช้งานของวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์
1-เป้าหมายเซมิคอนดักเตอร์
(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป:เป้าหมายทั่วไปในด้านนี้ ได้แก่ แทนทาลัม ทองแดง ไทเทเนียม อลูมิเนียม ทอง นิกเกิล และโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูงอื่นๆ
(2)การใช้งาน-โดยพื้นฐานแล้วจะใช้ที่ข้อมูลดั้งเดิมที่สำคัญของวงจรรวม
(3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ข้อกำหนดทางเทคนิคเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ ขนาด การบูรณาการอยู่ในระดับสูง
2、วัสดุเป้าหมายสำหรับการแสดงระนาบ
(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-เป้าหมายที่ใช้กันทั่วไปในด้านนี้ ได้แก่ อลูมิเนียม/ทองแดง/โมลิบดีนัม/นิกเกิล/ไนโอเบียม/ซิลิคอน/โครเมียม เป็นต้น
(2)การใช้งาน-วัสดุเป้าหมายประเภทนี้ส่วนใหญ่จะใช้ในฟิล์มพื้นที่ขนาดใหญ่ประเภทต่างๆ ของทีวีและโน้ตบุ๊ก-
(3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ความต้องการสูงในความบริสุทธิ์ พื้นที่ขนาดใหญ่ ความสม่ำเสมอและอื่นๆ
3-เป้าหมายสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์
(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-เป้าหมายอลูมิเนียม/ทองแดง/โมลิบดีนัม/โครเมียม /ITO/Ta มักใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์
(2)การใช้งาน-ส่วนใหญ่ใช้ใน "ชั้นหน้าต่าง" ชั้นกั้น อิเล็กโทรด และฟิล์มนำไฟฟ้า และโอกาสอื่น ๆ-
(3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ความต้องการทักษะสูง ใช้งานได้หลากหลาย
4-วัสดุเป้าหมายสำหรับการจัดเก็บข้อมูล
(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-การจัดเก็บข้อมูลวัสดุเป้าหมายโคบอลต์/นิกเกิล/โลหะผสมเหล็ก/โครเมียม/เทลลูเรียม/ซีลีเนียมที่ใช้กันทั่วไป
(2)การใช้งาน-วัสดุเป้าหมายที่นี่ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับส่วนหัว ชั้นกลาง และชั้นล่างของซีดีรอมและซีดี.
(3) ข้อกำหนดด้านการทำงาน-จำเป็นต้องมีความหนาแน่นในการจัดเก็บข้อมูลสูงและความเร็วในการส่งข้อมูลสูง.
5-วัสดุเป้าหมายสำหรับการดัดแปลงเครื่องมือ
(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-การดัดแปลงเครื่องมือของโลหะผสมไทเทเนียม/เซอร์โคเนียม/โครงตาข่าย/โครเมียม-อะลูมิเนียม และชิ้นงานอื่นๆ.
(2)การใช้งาน:มักใช้เพื่อเสริมรูปลักษณ์.
(3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ข้อกำหนดด้านการทำงานสูง อายุการใช้งานยาวนาน.
6-วัสดุเป้าหมายสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป:เป้าหมายโลหะผสมอะลูมิเนียม/ซิลิไซด์มักใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
(2)การใช้งาน-โดยทั่วไปใช้สำหรับตัวต้านทานแบบฟิล์มและตัวเก็บประจุ.
(3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ขนาดเล็ก เสถียรภาพ ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานต่ำ
เวลาโพสต์: 21 เมษายน-2022