ฟิลด์ใดบ้างที่ใช้เป้าหมายสปัตเตอร์

เราทุกคนรู้ดีว่ามีข้อกำหนดหลายประการของเป้าหมายสปัตเตอร์ซึ่งมีแย่ช่วงของการใช้งาน.Tเขามุ่งเป้าไปที่พันธุ์ที่นิยมใช้กันในอุตสาหกรรมต่าง ๆ อีกด้วย วันนี้เรามาดูกันดีกว่า กับ ปักกิ่งริชแมท ร่วมกันเพื่อเรียนรู้เกี่ยวกับการจำแนกประเภทอุตสาหกรรมเป้าหมายสปัตเตอร์. 

https://www.rsmtarget.com/

หนึ่ง、คำจำกัดความของวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์

 สปัตเตอร์ริ่งเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีหลักในการเตรียมวัสดุฟิล์มบาง ใช้ไอออนที่สร้างโดยแหล่งกำเนิดไอออนเพื่อสร้างลำแสงไอออนด้วยพลังงานความเร็วสูงผ่านการเร่งการรวมตัวในสุญญากาศ พื้นผิวของแข็งที่ถูกทิ้งระเบิด ไอออนและอะตอมของพื้นผิวของแข็งมีการแลกเปลี่ยนพลังงานจลน์ ดังนั้นอะตอมบนพื้นผิวของแข็งจึงออกจากของแข็งและสะสมอยู่บน พื้นผิวของสารตั้งต้น ของแข็งที่ถูกทิ้งระเบิดเป็นวัตถุดิบในการเตรียมฟิล์มที่สะสมด้วยสปัตเตอร์หรือที่เรียกว่าเป้าหมายสปัตเตอร์

二、การจำแนกประเภทฟิลด์การใช้งานของวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์

  1-เป้าหมายเซมิคอนดักเตอร์

(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป:เป้าหมายทั่วไปในด้านนี้ ได้แก่ แทนทาลัม ทองแดง ไทเทเนียม อลูมิเนียม ทอง นิกเกิล และโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูงอื่นๆ

  (2)การใช้งาน-โดยพื้นฐานแล้วจะใช้ที่ข้อมูลดั้งเดิมที่สำคัญของวงจรรวม

  (3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ข้อกำหนดทางเทคนิคเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ ขนาด การบูรณาการอยู่ในระดับสูง

  2、วัสดุเป้าหมายสำหรับการแสดงระนาบ

  (1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-เป้าหมายที่ใช้กันทั่วไปในด้านนี้ ได้แก่ อลูมิเนียม/ทองแดง/โมลิบดีนัม/นิกเกิล/ไนโอเบียม/ซิลิคอน/โครเมียม เป็นต้น

  (2)การใช้งาน-วัสดุเป้าหมายประเภทนี้ส่วนใหญ่จะใช้ในฟิล์มพื้นที่ขนาดใหญ่ประเภทต่างๆ ของทีวีและโน้ตบุ๊ก-

  (3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ความต้องการสูงในความบริสุทธิ์ พื้นที่ขนาดใหญ่ ความสม่ำเสมอและอื่นๆ

  3-เป้าหมายสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์

(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-เป้าหมายอลูมิเนียม/ทองแดง/โมลิบดีนัม/โครเมียม /ITO/Ta มักใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์

  (2)การใช้งาน-ส่วนใหญ่ใช้ใน "ชั้นหน้าต่าง" ชั้นกั้น อิเล็กโทรด และฟิล์มนำไฟฟ้า และโอกาสอื่น ๆ-

  (3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ความต้องการทักษะสูง ใช้งานได้หลากหลาย

  4-วัสดุเป้าหมายสำหรับการจัดเก็บข้อมูล

  (1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-การจัดเก็บข้อมูลวัสดุเป้าหมายโคบอลต์/นิกเกิล/โลหะผสมเหล็ก/โครเมียม/เทลลูเรียม/ซีลีเนียมที่ใช้กันทั่วไป

  (2)การใช้งาน-วัสดุเป้าหมายที่นี่ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับส่วนหัว ชั้นกลาง และชั้นล่างของซีดีรอมและซีดี.

  (3) ข้อกำหนดด้านการทำงาน-จำเป็นต้องมีความหนาแน่นในการจัดเก็บข้อมูลสูงและความเร็วในการส่งข้อมูลสูง.

  5-วัสดุเป้าหมายสำหรับการดัดแปลงเครื่องมือ

(1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป-การดัดแปลงเครื่องมือของโลหะผสมไทเทเนียม/เซอร์โคเนียม/โครงตาข่าย/โครเมียม-อะลูมิเนียม และชิ้นงานอื่นๆ.

  (2)การใช้งาน:มักใช้เพื่อเสริมรูปลักษณ์.

  (3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ข้อกำหนดด้านการทำงานสูง อายุการใช้งานยาวนาน.

  6-วัสดุเป้าหมายสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

  (1)วัสดุที่ใช้กันทั่วไป:เป้าหมายโลหะผสมอะลูมิเนียม/ซิลิไซด์มักใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

  (2)การใช้งาน-โดยทั่วไปใช้สำหรับตัวต้านทานแบบฟิล์มและตัวเก็บประจุ.

  (3)ข้อกำหนดด้านการทำงาน-ขนาดเล็ก เสถียรภาพ ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานต่ำ


เวลาโพสต์: 21 เมษายน-2022
TOP