Ile-iṣẹ semikondokito nigbagbogbo n rii ọrọ kan fun awọn ohun elo ibi-afẹde, eyiti o le pin si awọn ohun elo wafer ati awọn ohun elo apoti. Awọn ohun elo iṣakojọpọ ni awọn idena imọ-ẹrọ kekere ti a fiwe si awọn ohun elo iṣelọpọ wafer. Ilana iṣelọpọ ti awọn wafers ni akọkọ pẹlu awọn oriṣi 7 ti awọn ohun elo semikondokito ati awọn kemikali, pẹlu iru ohun elo ibi-afẹde sputtering kan. Nitorina kini ohun elo afojusun? Kini idi ti ohun elo ibi-afẹde ṣe pataki bẹ? Loni a yoo sọrọ nipa kini ohun elo ibi-afẹde jẹ!
Kini ohun elo afojusun?
Ni irọrun, ohun elo ibi-afẹde jẹ ohun elo ibi-afẹde ti bombarded nipasẹ awọn patikulu gbigba agbara iyara. Nipa rirọpo awọn ohun elo ibi-afẹde oriṣiriṣi (gẹgẹbi aluminiomu, bàbà, irin alagbara, titanium, awọn ibi-afẹde nickel, bbl), o le gba awọn ọna ṣiṣe fiimu oriṣiriṣi (gẹgẹbi superhard, wọ-sooro, awọn fiimu alloy anti-corrosion, bbl) le gba.
Ni lọwọlọwọ, (mimọ) awọn ohun elo ibi-afẹde le pin si:
1) Awọn ibi-afẹde irin (aluminiomu mimọ, titanium, bàbà, tantalum, bbl)
2) Awọn ibi-afẹde Alloy (nickel chromium alloy, nickel cobalt alloy, ati bẹbẹ lọ)
3) Awọn ibi-afẹde idapọmọra seramiki (oxides, silicides, carbides, sulfides, bbl).
Gẹgẹbi awọn iyipada oriṣiriṣi, o le pin si: ibi-afẹde gigun, ibi-afẹde onigun mẹrin, ati ibi-afẹde ipin.
Gẹgẹbi awọn aaye ohun elo oriṣiriṣi, o le pin si: awọn ibi-afẹde chirún semikondokito, awọn ibi-afẹde ifihan nronu alapin, awọn ibi-afẹde sẹẹli oorun, awọn ibi ibi ipamọ alaye, awọn ibi-afẹde ti a yipada, awọn ibi-afẹde ẹrọ itanna, ati awọn ibi-afẹde miiran.
Nipa wiwo eyi, o yẹ ki o ti ni oye ti awọn ibi-afẹde sputtering mimọ-giga, bakanna bi aluminiomu, titanium, bàbà, ati tantalum ti a lo ninu awọn ibi-afẹde irin. Ni iṣelọpọ wafer semikondokito, ilana aluminiomu nigbagbogbo jẹ ọna akọkọ fun iṣelọpọ wafers 200mm (8 inches) ati ni isalẹ, ati awọn ohun elo ibi-afẹde ti a lo ni akọkọ aluminiomu ati awọn eroja titanium. 300mm (12 inch) iṣelọpọ wafer, pupọ julọ ni lilo imọ-ẹrọ interconnection Ejò ti ilọsiwaju, nipataki lilo bàbà ati awọn ibi-afẹde tantalum.
Gbogbo eniyan yẹ ki o loye kini ohun elo afojusun jẹ. Lapapọ, pẹlu iwọn ti o pọ si ti awọn ohun elo ërún ati ibeere ti o pọ si ni ọja chirún, dajudaju yoo jẹ alekun ibeere fun awọn ohun elo irin fiimu tinrin akọkọ mẹrin ninu ile-iṣẹ naa, eyun aluminiomu, titanium, tantalum, ati bàbà. Ati lọwọlọwọ, ko si ojutu miiran ti o le rọpo awọn ohun elo irin fiimu tinrin mẹrin wọnyi.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-06-2023