Fiimu tinrin lori ibi-afẹde ti a bo jẹ apẹrẹ ohun elo pataki kan. Ni itọsọna pato ti sisanra, iwọn naa kere pupọ, eyiti o jẹ iwọn wiwọn ohun airi. Ni afikun, nitori ifarahan ati wiwo ti sisanra fiimu, ilọsiwaju ohun elo ti pari, eyiti o jẹ ki data fiimu ati data ibi-afẹde ni oriṣiriṣi awọn ohun-ini ti o wọpọ. Ati pe ibi-afẹde jẹ lilo akọkọ ti abọ sputtering magnetron, edither Beijing Richmat yoo mu wa ni oye. opo ati ogbon ti a bo sputtering.
一, Ilana ti bo sputtering
Ọgbọn ti a bo sputtering ni lati lo irisi ibi-afẹde ion shelling, awọn ọta ibi-afẹde ti lu jade ninu iṣẹlẹ ti a mọ si sputtering. Awọn ọta ti a fi silẹ lori dada ti sobusitireti ni a pe ni wiwa sputtering. Ni gbogbogbo, ionization gaasi jẹ iṣelọpọ nipasẹ itujade gaasi, ati awọn ions rere bombast ibi-afẹde cathode ni iyara giga labẹ iṣẹ ti aaye ina, ti n lu awọn ọta tabi awọn moleku ti ibi-afẹde cathode, ati fò si dada ti sobusitireti lati wa ni ifipamọ sinu fiimu kan. Ni sisọ, sisọ sputtering ti a bo ni titẹ kekere inert gaasi didan lati ṣe ina. ions.
Ni gbogbogbo, ohun elo fifin fiimu sputtering ti ni ipese pẹlu awọn amọna meji ni iyẹwu idasilẹ igbale, ati ibi-afẹde cathode jẹ ti data ti a bo. Iyẹwu igbale ti kun pẹlu gaasi argon pẹlu titẹ ti 0.1 ~ 10Pa. Alábá yosita waye ni cathode labẹ awọn iṣẹ ti odi ga foliteji ti 1 ~ 3kV dc tabi rf foliteji ti 13.56mhz.Argon ions bombard awọn afojusun dada ati ki o fa awọn sputtered afojusun awọn ọta lati accumulate lori sobusitireti.
二, Sputtering ti a bo ogbon abuda
1, Iyara akopọ iyara
Iyatọ laarin iyara nla magnetron sputtering elekiturodu ati elekiturodu sputtering ipele meji ti aṣa ni pe oofa ti wa ni idayatọ ni isalẹ ibi-afẹde, nitorinaa aaye oofa ti ko ni deede waye lori dada ti ibi-afẹde.Ipa lorentz lori awọn elekitironi wa si aarin. ti awọn orisirisi eniyan oofa aaye. Nitori ipa idojukọ, awọn elekitironi sa lọ kere si. Awọn orisirisi oofa aaye lọ ni ayika awọn afojusun dada, ati awọn Atẹle elekitironi sile ni orisirisi awọn oofa aaye collide pẹlu awọn gaasi moleku leralera, eyi ti o mu awọn ga iyipada oṣuwọn ti gaasi moleku.Nitorina, awọn ga iyara magnetron sputtering agbara kekere agbara, ṣugbọn. le gba iṣẹ ṣiṣe bora nla, pẹlu awọn abuda idasilẹ to peye.
2, Awọn sobusitireti otutu ni kekere
Ga iyara magnetron sputtering, tun mo bi kekere otutu sputtering. Idi ni pe ẹrọ naa nlo awọn idasilẹ ni aaye ti awọn aaye itanna ti o taara si ara wọn. Awọn elekitironi Atẹle ti o waye ni ita ti ibi-afẹde, ni ara wọn. Labẹ iṣẹ ti aaye itanna ti o tọ, o wa ni owun nitosi aaye ibi-afẹde ati gbe lọ si oju opopona ni laini yiyi, leralera lilu lodi si awọn ohun elo gaasi lati ionize awọn ohun elo gaasi.Papọ, awọn elekitironi funrara wọn maa padanu agbara wọn, nipasẹ awọn bumps leralera, titi ti agbara wọn yoo fẹrẹ padanu patapata ṣaaju ki wọn le sa fun oju ti ibi-afẹde nitosi sobusitireti naa. Nitoripe agbara ti awọn elekitironi jẹ kekere, iwọn otutu ti ibi-afẹde ko ga ju. Iyẹn ti to lati koju iwọn otutu sobusitireti ti o ṣẹlẹ nipasẹ bombu elekitironi agbara-giga ti ibọn diode lasan, eyiti o pari cryogenization.
3, A jakejado ibiti o ti awo awo ẹya
Eto ti awọn fiimu tinrin ti a gba nipasẹ evaporation igbale ati ifisilẹ abẹrẹ jẹ ohun ti o yatọ pupọ si eyiti o gba nipasẹ awọn iwọn to lagbara pupọ. Ni idakeji si awọn ipilẹ ti o wa ni gbogbogbo, eyiti o jẹ ipin gẹgẹbi ipilẹ kanna ni awọn iwọn mẹta, awọn fiimu ti a fi sinu ipele gaasi jẹ ipin bi awọn ẹya oriṣiriṣi. Idagba ti ọwọn ti fiimu naa jẹ idi nipasẹ oju-ọna convex atilẹba ti sobusitireti ati awọn ojiji diẹ ninu awọn ẹya olokiki ti sobusitireti naa. Bibẹẹkọ, apẹrẹ ati iwọn ti ọwọn naa yatọ pupọ nitori iwọn otutu sobusitireti, pipinka dada ti awọn ọta tolera, isinku ti awọn ọta aimọ ati Igun iṣẹlẹ ti awọn ọta isẹlẹ ni ibatan si dada sobusitireti. Ni iwọn otutu ti o pọ ju, fiimu tinrin naa ni eto fibrous, iwuwo giga, ti o ni awọn kirisita columnar ti o dara, eyiti o jẹ eto alailẹgbẹ ti fiimu sputtering.
Sputtering titẹ ati film iyara stacking tun ni ipa awọn be ti awọn fiimu. Nitori awọn ohun elo gaasi ni ipa ti idinku pipinka ti awọn ọta lori dada ti sobusitireti, ipa ti titẹ sputtering giga dara fun idinku iwọn otutu sobusitireti ninu awoṣe. Nitorinaa, awọn fiimu aladun ti o ni awọn irugbin ti o dara ni a le gba ni titẹ sputtering giga. Fiimu iwọn ọkà kekere yii dara fun lubrication, resistance resistance, líle dada ati awọn ohun elo ẹrọ miiran.
4, Ṣeto akojọpọ boṣeyẹ
Awọn akojọpọ, awọn idapọmọra, awọn alloy, ati bẹbẹ lọ, eyiti o nira pupọ lati wa ni bo nipasẹ evaporation igbale nitori awọn igara oru ti awọn paati yatọ tabi nitori pe wọn ṣe iyatọ nigbati igbona.Sputtering ti a bo ọna ni lati ṣe ibi-afẹde dada Layer ti awọn ọta Layer nipasẹ Layer. si sobusitireti, ni ori yii jẹ awọn ọgbọn ṣiṣe fiimu pipe diẹ sii. Gbogbo iru awọn ohun elo le ṣee lo ni iṣelọpọ ti a bo ile-iṣẹ nipasẹ sputtering.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 29-2022