Ibi-afẹde naa ni awọn iṣẹ lọpọlọpọ ati awọn ohun elo jakejado ni awọn aaye pupọ. Ohun elo sputtering tuntun ti fẹrẹ lo awọn oofa ti o lagbara lati yi awọn elekitironi pọ si lati mu ionization ti argon pọ si ni ayika ibi-afẹde, eyiti o pọ si iṣeeṣe ikọlu laarin ibi-afẹde ati awọn ions argon,
Ṣe alekun oṣuwọn sputtering. Ni gbogbogbo, sputtering DC ni a lo fun ibora irin, lakoko ti a ti lo sputtering ibaraẹnisọrọ RF fun awọn ohun elo seramiki ti kii ṣe adaṣe. Ilana ipilẹ ni lati lo itujade didan lati kọlu awọn ions argon (AR) lori oju ibi-afẹde ni igbale, ati awọn cations ninu pilasima yoo yara lati yara si dada elekiturodu odi bi ohun elo splashed. Ipa yii yoo jẹ ki ohun elo ti ibi-afẹde naa fò jade ati idogo lori sobusitireti lati ṣe fiimu kan.
Ni gbogbogbo, awọn ẹya pupọ wa ti ibora fiimu nipa lilo ilana itusilẹ:
(1) Irin, alloy tabi insulator le ṣee ṣe sinu data fiimu tinrin.
(2) Labẹ awọn ipo eto ti o yẹ, fiimu pẹlu akopọ kanna le ṣee ṣe lati awọn ibi-afẹde pupọ ati rudurudu.
(3) Adalu tabi idapọ ti ohun elo ibi-afẹde ati awọn ohun elo gaasi le ṣee ṣe nipasẹ fifi atẹgun tabi awọn gaasi ti nṣiṣe lọwọ miiran ni oju-aye itusilẹ.
(4) Awọn titẹ sii ibi-afẹde lọwọlọwọ ati akoko sputtering ni a le ṣakoso, ati pe o rọrun lati gba sisanra fiimu to gaju.
(5) O jẹ anfani si iṣelọpọ awọn fiimu miiran.
(6) Awọn patikulu sputtered ko ni ipa nipasẹ walẹ, ati pe ibi-afẹde ati sobusitireti le ṣeto larọwọto.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-24-2022