Nipa ohun elo ati ilana ti imọ-ẹrọ ibi-afẹde sputtering, diẹ ninu awọn alabara ti ṣagbero RSM, ni bayi fun iṣoro yii ti o ni aniyan diẹ sii nipa , awọn amoye imọ-ẹrọ pin diẹ ninu awọn imọ ti o ni ibatan kan pato.
Ohun elo ibi-afẹde sputtering:
Awọn patikulu gbigba agbara (gẹgẹbi awọn ions argon) bombard dada ti o lagbara, ti o nfa awọn patikulu dada, gẹgẹbi awọn ọta, awọn ohun amorindun tabi awọn edidi lati sa fun oju iṣẹlẹ ohun ti a pe ni “sputtering”. Ni magnetron sputtering ti a bo, awọn ions rere ti ipilẹṣẹ nipasẹ argon ionization ti wa ni maa lo lati bombard awọn ri to (afojusun), ati awọn sputtered didoju awọn ọta ti wa ni nile lori sobusitireti (workpiece) lati fẹlẹfẹlẹ kan ti fiimu Layer. Magnetron sputtering bo ni awọn abuda meji: “iwọn otutu” ati “yara”.
Ilana sputtering Magnetron:
Aaye oofa orthogonal ati aaye ina ni a ṣafikun laarin ọpa ibi-afẹde sputtered (cathode) ati anode, ati gaasi inert ti a beere (nigbagbogbo Ar gaasi) ti kun ni iyẹwu igbale giga. Oofa ayeraye n ṣe aaye oofa 250-350 Gauss lori dada ti ohun elo ibi-afẹde, ati ṣe aaye aaye itanna orthogonal pẹlu aaye ina mọnamọna giga.
Labẹ iṣẹ ti aaye ina, ar gaasi ti wa ni ionized sinu awọn ions rere ati awọn elekitironi, ati pe iwọn odi giga kan wa lori ibi-afẹde, nitorinaa awọn elekitironi ti o jade lati ọpa ibi-afẹde ni ipa nipasẹ aaye oofa ati iṣeeṣe ionization ti iṣẹ naa. gaasi posi. Pilasima iwuwo giga ti wa ni akoso nitosi cathode, ati awọn ions Ar ṣe iyara si aaye ibi-afẹde labẹ iṣe ti Lorentz agbara ati bombard dada ibi-afẹde ni iyara giga, ki awọn ọta sputtered lori ibi-afẹde yọ kuro lati ibi ibi-afẹde pẹlu giga. agbara kainetik ati fo si sobusitireti lati ṣe fiimu kan ni ibamu si ilana ti iyipada ipa.
Sisọtọ Magnetron ni gbogbogbo pin si awọn oriṣi meji: sputtering DC ati RF sputtering. Awọn opo ti DC sputtering ẹrọ ni o rọrun, ati awọn oṣuwọn ni sare nigbati sputtering irin. Lilo ti RF sputtering jẹ gbooro sii, ni afikun si sputtering conductive awọn ohun elo, sugbon tun sputtering ti kii-conductive ohun elo, sugbon tun ifaseyin sputtering igbaradi ti oxides, nitrides ati carbides ati awọn miiran yellow ohun elo. Ti igbohunsafẹfẹ ti RF ba pọ si, o di sputtering pilasima makirowefu. Ni lọwọlọwọ, itanna cyclotron resonance (ECR) iru makirowefu sputtering pilasima ni a lo nigbagbogbo.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-01-2022