Awọn ohun elo ibi-afẹde sputtered ni awọn ibeere giga lakoko lilo, kii ṣe fun mimọ nikan ati iwọn patiku, ṣugbọn tun fun iwọn patiku aṣọ. Awọn ibeere giga wọnyi jẹ ki a san akiyesi diẹ sii nigba lilo awọn ohun elo ibi-afẹde sputtering.
1. Sputtering igbaradi
O ṣe pataki pupọ lati ṣetọju mimọ ti iyẹwu igbale, paapaa eto sputtering. Awọn lubricants, eruku, ati eyikeyi ti o ku lati awọn aṣọ ti tẹlẹ le ṣajọpọ awọn idoti gẹgẹbi omi, ti o ni ipa lori igbale taara ati jijẹ iṣeeṣe ti ikuna iṣelọpọ fiimu. Awọn iyika kukuru, ibi-afẹde ibi-afẹde, awọn ilẹ ti o ni inira ti o ṣẹda fiimu, ati awọn idoti kẹmika ti o pọ julọ ni a maa n fa nipasẹ awọn iyẹwu alaimọ, awọn ibon, ati awọn ibi-afẹde.
Lati le ṣetọju awọn abuda akopọ ti ibora, gaasi sputtering (argon tabi atẹgun) gbọdọ jẹ mimọ ati ki o gbẹ. Lẹhin fifi sori ẹrọ sobusitireti ni iyẹwu sputtering, afẹfẹ nilo lati fa jade lati ṣaṣeyọri ipele igbale ti o nilo fun ilana naa.
2. Àkọlé ninu
Idi ti mimọ ibi-afẹde ni lati yọ eyikeyi eruku tabi eruku ti o le wa lori oju ibi-afẹde naa.
3. Àkọlé fifi sori
Ohun pataki julọ lati san ifojusi si lakoko ilana fifi sori ẹrọ ti ohun elo ibi-afẹde ni lati rii daju asopọ gbigbona to dara laarin ohun elo ibi-afẹde ati odi itutu agbaiye ti ibon sputtering. Ti odi itutu agbaiye tabi awo ẹhin ba ti yapa pupọ, o le fa fifọ tabi atunse lakoko fifi sori ẹrọ ohun elo ibi-afẹde. Gbigbe ooru lati ibi-afẹde ẹhin si ohun elo ibi-afẹde yoo ni ipa pupọ, ti o mu abajade ailagbara lati tu ooru kuro lakoko itọ, nikẹhin ti o yori si fifọ tabi iyapa ti ohun elo ibi-afẹde.
4. Kukuru Circuit ati ayewo lilẹ
Lẹhin fifi sori ẹrọ ti ohun elo ibi-afẹde, o jẹ dandan lati ṣayẹwo kukuru kukuru ati lilẹ ti gbogbo cathode. A ṣe iṣeduro lati lo ohmmeter ati megohmmeter kan lati pinnu boya cathode jẹ kukuru kukuru. Lẹhin ti ifẹsẹmulẹ pe cathode kii ṣe iyipo kukuru, wiwa jijo le ṣee ṣe nipasẹ abẹrẹ omi sinu cathode lati pinnu boya jijo eyikeyi wa.
5. Àkọlé awọn ohun elo ti ami sputtering
O ti wa ni niyanju lati lo funfun argon gaasi fun pre sputtering ti awọn afojusun ohun elo, eyi ti o le nu awọn dada ti awọn afojusun ohun elo. O ti wa ni niyanju lati laiyara mu awọn sputtering agbara nigba awọn ṣaaju sputtering ilana fun awọn afojusun ohun elo. Agbara ti ohun elo ibi-afẹde seramiki
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-19-2023