Awọn ohun elo ibi-afẹde ti a lo ninu ile-iṣẹ ipamọ data nilo mimọ to gaju, ati awọn aimọ ati awọn pores gbọdọ dinku lati yago fun iran ti awọn patikulu aimọ lakoko sputtering. Ohun elo ibi-afẹde ti a lo fun awọn ọja ti o ni agbara giga nilo pe iwọn patiku gara rẹ gbọdọ jẹ kekere ati aṣọ, ati pe ko ni iṣalaye gara. Ni isalẹ, jẹ ki a wo awọn ibeere ti ile-iṣẹ ipamọ opiti fun ohun elo ibi-afẹde?
1. Mimo
Ni awọn ohun elo ti o wulo, mimọ ti awọn ohun elo ibi-afẹde yatọ ni ibamu si awọn ile-iṣẹ oriṣiriṣi ati awọn ibeere. Bibẹẹkọ, lapapọ, ti o ga julọ mimọ ti ohun elo ibi-afẹde, iṣẹ ṣiṣe ti fiimu ti o tu silẹ dara dara. Fun apẹẹrẹ, ninu ile-iṣẹ ibi ipamọ opiti, mimọ ti ohun elo ibi-afẹde ni a nilo lati tobi ju 3N5 tabi 4N.
2. akoonu aimọ
Awọn ohun elo ibi-afẹde n ṣiṣẹ bi orisun cathode ni itọka, ati awọn idoti ti o lagbara ati atẹgun ati aru omi ninu awọn pores jẹ awọn orisun idoti akọkọ fun fifipamọ awọn fiimu tinrin. Ni afikun, awọn ibeere pataki wa fun awọn ibi-afẹde ti awọn lilo oriṣiriṣi. Gbigba ile-iṣẹ ibi-itọju opiti gẹgẹbi apẹẹrẹ, akoonu aimọ ni awọn ibi-afẹde sputtering gbọdọ wa ni iṣakoso kekere pupọ lati rii daju pe didara ibora naa.
3. Iwọn ọkà ati pinpin iwọn
Nigbagbogbo, ohun elo ibi-afẹde ni eto polycrystalline, pẹlu awọn iwọn ọkà ti o wa lati awọn micrometers si awọn milimita. Fun awọn ibi-afẹde pẹlu akopọ kanna, oṣuwọn sputtering ti awọn ibi-afẹde ọkà ti o dara ni iyara ju ti awọn ibi-afẹde ọkà isokuso. Fun awọn ibi-afẹde pẹlu awọn iyatọ iwọn ọkà ti o kere ju, sisanra fiimu ti a fi pamọ yoo tun jẹ aṣọ aṣọ diẹ sii.
4. Iwapọ
Lati le dinku porosity ninu ohun elo ibi-afẹde to lagbara ati ilọsiwaju iṣẹ fiimu, o nilo gbogbogbo pe ohun elo ibi-afẹde sputtering ni iwuwo giga. Iwuwo ti ohun elo ibi-afẹde ni pataki da lori ilana igbaradi. Ohun elo ibi-afẹde ti a ṣe nipasẹ yo ati ọna simẹnti le rii daju pe ko si awọn pores inu ohun elo ibi-afẹde ati iwuwo jẹ giga julọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-18-2023