Orukọ kikun ti PVD jẹ ifasilẹ oru ti ara, eyiti o jẹ abbreviation ti Gẹẹsi (itumọ oru ti ara). Ni lọwọlọwọ, PVD ni akọkọ pẹlu ibora evaporation, ibora sputtering magnetron, ibora ion pupọ, ifisilẹ eeru kemikali ati awọn fọọmu miiran. Ni gbogbogbo, PVD jẹ ti ile-iṣẹ aabo ayika alawọ ewe. Ti a bawe pẹlu awọn ile-iṣẹ miiran, o ni ibajẹ kekere si ara eniyan, ṣugbọn kii ṣe laisi. Dajudaju, o le dinku daradara tabi paapaa yọkuro patapata. Lori PVD magnetron sputtering igbale ti a bo awọn iṣọra, nipasẹ ipin lati ọdọ olootu ti RSM, a le ni oye diẹ sii ni deede oye ọjọgbọn ti o yẹ.
Ṣe akiyesi awọn aaye wọnyi nipa PVD magnetron sputtering igbale ti a bo:
1. Radiation: diẹ ninu awọn ideri nilo lati lo ipese agbara RF. Ti agbara ba ga, o nilo lati daabobo. Ni afikun, ni ibamu si awọn iṣedede Yuroopu, awọn onirin irin ti wa ni ifibọ ni ayika fireemu ilẹkun ti ẹrọ ibora yara kan lati daabobo itankalẹ.
2. Idoti irin: diẹ ninu awọn ohun elo ti a fi bo (gẹgẹbi chromium, indium, aluminiomu) jẹ ipalara si ara eniyan, ati pe o yẹ ki o san ifojusi pataki si idoti eruku ni akoko sisọ ti iyẹwu igbale;
3. Ariwo idoti: paapa fun diẹ ninu awọn ohun elo ti o tobi ti a bo, awọn ẹrọ igbale fifa jẹ gidigidi alariwo, ki awọn fifa le ti wa ni sọtọ ita odi;
4. Idoti ina: ninu ilana ti ion ti a bo, gaasi ionizes ati ki o tan ina to lagbara, eyi ti ko dara lati wo nipasẹ window akiyesi fun igba pipẹ;
Iwọn otutu iṣẹ gbogbogbo ti PVD magnetron sputtering coater jẹ iṣakoso laarin 0 ~ 500!
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-08-2022