Imọ itọju ti ibi-afẹde sputtering

Ọpọlọpọ awọn ọrẹ nipa itọju ibi-afẹde ni awọn ibeere diẹ sii tabi kere si, laipẹ tun wa ọpọlọpọ awọn alabara ti o ni imọran nipa itọju awọn iṣoro ti o ni ibatan si ibi-afẹde, jẹ ki olootu RSM fun wa lati pin nipa sputtering imọ itọju ibi-afẹde.

　　Bawo ni o yẹ ki o ṣetọju awọn ibi-afẹde sputter?

　　1, Itọju ibi-afẹde

Ni ibere lati yago fun kukuru Circuit ati arcing ṣẹlẹ nipasẹ aimọ iho ninu awọn sputtering ilana, o jẹ pataki lati lorekore yọ awọn sputters akojo ni aarin ati awọn mejeji ti awọn sputtering orin, eyi ti o tun iranlọwọ awọn olumulo lati continuously sputter ni ga agbara iwuwo.

　　2, Ibi ipamọ ibi-afẹde

A ṣeduro pe awọn olumulo tọju ibi-afẹde (boya irin tabi seramiki) ni apoti igbale, paapaa ibi-afẹde ti o yẹ gbọdọ wa ni ipamọ ni igbale lati ṣe idiwọ ifoyina ti Layer ibamu lati ni ipa lori didara ibamu. Bi fun apoti ti awọn ibi-afẹde irin, a daba pe wọn yẹ ki o kojọpọ ninu awọn baagi ṣiṣu mimọ o kere ju.

　　3, Afojusun ninu

Igbesẹ akọkọ ni lati sọ di mimọ pẹlu asọ asọ ti ko ni lint ti a fi sinu acetone;

Igbesẹ keji jẹ iru si igbesẹ akọkọ, mimọ pẹlu ọti;

Igbesẹ 3: nu pẹlu omi deionized. Lẹhin ti nu pẹlu omi deionized, ibi-afẹde ti wa ni gbe sinu adiro ati ki o gbẹ ni 100 ℃ fun ọgbọn išẹju 30. O ti wa ni daba lati lo "lint free asọ" lati nu oxide ati seramiki afojusun.

Igbesẹ kẹrin ni lati wẹ ibi-afẹde pẹlu argon pẹlu titẹ giga ati ọriniinitutu kekere lati yọkuro eyikeyi awọn patikulu alaimọ ti o le fa arc ni eto sputtering.

　　4, Kukuru Circuit ati wiwọ ayẹwo

Lẹhin ti ibi-afẹde ti fi sori ẹrọ, gbogbo cathode nilo lati ṣayẹwo fun kukuru kukuru ati wiwọ. O ti wa ni niyanju lati ṣe idajọ boya o wa ni a kukuru Circuit ni cathode nipa lilo a resistance mita ati ki o kan megger. Lẹhin ti ifẹsẹmulẹ pe ko si kukuru kukuru ni cathode, ayẹwo jijo omi le ṣee ṣe, ati pe a le gbe omi sinu cathode lati pinnu boya jijo omi wa.

　　5, Apoti ati gbigbe

Gbogbo awọn ibi-afẹde ti wa ni aba ti ni igbale edidi ṣiṣu baagi pẹlu ọrinrin-ẹri oluranlowo. Awọn lode package ni gbogbo onigi apoti pẹlu egboogi-ijamba Layer ni ayika lati dabobo awọn afojusun ati backplane lati bibajẹ nigba gbigbe ati ibi ipamọ.