Ifihan si iṣẹ ati lilo ibi-afẹde

Nipa ọja ibi-afẹde, ni bayi ọja ohun elo jẹ diẹ sii ati jakejado, ṣugbọn diẹ ninu awọn olumulo ko ni oye pupọ nipa lilo ibi-afẹde, jẹ ki awọn amoye lati Ẹka imọ-ẹrọ RSM lati ṣe alaye alaye nipa rẹ,

　　1. Microelectronics

Ni gbogbo awọn ile-iṣẹ ohun elo, ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere ti o nbeere julọ fun didara fiimu itọsi ibi-afẹde. Silikoni wafers ti 12 inch (300 epistaxis) ti a ti ṣelọpọ bayi. Awọn iwọn ti awọn interconnect ti n dinku. Awọn aṣelọpọ wafer Silicon nilo iwọn nla, mimọ giga, ipinya kekere ati irugbin ti o dara ti ibi-afẹde, eyiti o nilo microstructure to dara julọ ti ibi-afẹde ti a ṣelọpọ.

　　2, ifihan

Ifihan alapin alapin (FPD) ti ni ipa pupọ si ibojuwo kọnputa ti o da lori cathode-ray tube (CRT) ati ọja tẹlifisiọnu ni awọn ọdun, ati pe yoo tun ṣe awakọ imọ-ẹrọ ati ibeere ọja fun awọn ohun elo ibi-afẹde ITO. Awọn iru meji ti awọn ibi-afẹde iTO wa. Ọkan ni lati lo ipo nanometer ti indium oxide ati tin oxide lulú lẹhin sisọ, ekeji ni lati lo ibi-afẹde indium tin alloy.

　　3. Ibi ipamọ

Ni awọn ofin ti imọ-ẹrọ ipamọ, idagbasoke ti iwuwo giga ati awọn disiki lile ti o ni agbara nla nilo nọmba nla ti awọn ohun elo fiimu aifẹ nla. Fiimu akojọpọ onipọpọ CoF ~ Cu jẹ ẹya lilo pupọ ti fiimu ilọkuro nla. Ohun elo ibi-afẹde alloy TbFeCo nilo fun disiki oofa si tun wa ni idagbasoke siwaju sii. Disiki oofa ti a ṣe pẹlu TbFeCo ni awọn abuda ti agbara ibi ipamọ nla, igbesi aye iṣẹ pipẹ ati imukuro ti kii ṣe olubasọrọ leralera.

　　Idagbasoke ohun elo afojusun:

Orisirisi awọn iru ti sputtering tinrin fiimu awọn ohun elo ti a ti ni opolopo lo ninu semikondokito ese iyika (VLSI), opitika disiki, planar han ati dada ti a bo ti workpiece. Lati awọn ọdun 1990, idagbasoke imuṣiṣẹpọ ti ohun elo ibi-afẹde ati imọ-ẹrọ sputtering ti pade awọn iwulo idagbasoke ti ọpọlọpọ awọn paati itanna tuntun.