Ni lọwọlọwọ, o fẹrẹ jẹ gbogbo awọn ibi-afẹde bàbà mimọ ultra-giga giga ti o nilo nipasẹ ile-iṣẹ IC jẹ monopolized nipasẹ ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ ajeji nla ti orilẹ-ede. Gbogbo awọn ibi-afẹde bàbà ultrapure ti o nilo nipasẹ ile-iṣẹ IC ti ile nilo lati gbe wọle, eyiti kii ṣe gbowolori nikan, ṣugbọn o tun ni idiju ni awọn ilana agbewọle Nitorinaa, China nilo ni iyara lati ni ilọsiwaju idagbasoke ati ijẹrisi ti awọn ibi-afẹde ultra-high (6N) Ejò sputtering . Jẹ ki a wo awọn aaye pataki ati awọn iṣoro ninu idagbasoke awọn ibi-afẹde ti o ga pupọ (6N) Ejò sputtering.
1,Idagbasoke ti olekenka ga ti nw ohun elo
Imọ-ẹrọ iwẹnumọ ti awọn irin-mimọ Cu, Al ati Ta ni Ilu China jina si iyẹn ni awọn orilẹ-ede ti o dagbasoke ile-iṣẹ. Ni lọwọlọwọ, pupọ julọ awọn irin mimọ-giga ti o le pese ko le pade awọn ibeere didara ti awọn iyika iṣọpọ fun awọn ibi-afẹde sputtering ni ibamu si aṣa gbogbo awọn ọna itupalẹ eroja ni ile-iṣẹ naa. Nọmba awọn ifisi ninu ibi-afẹde ti ga ju tabi pinpin lainidi. Patikulu ti wa ni igba akoso lori wafer nigba sputtering, Abajade ni kukuru Circuit tabi ìmọ Circuit ti interconnect, eyi ti isẹ ni ipa lori awọn iṣẹ ti awọn fiimu.
2,Idagbasoke ti Ejò sputtering afojusun igbaradi ọna ẹrọ
Idagbasoke imọ-ẹrọ igbaradi ibi-afẹde ibi-afẹde ni akọkọ fojusi lori awọn aaye mẹta: iwọn ọkà, iṣakoso iṣalaye ati isokan. Ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere ti o ga julọ fun awọn ibi-afẹde sputtering ati evaporating awọn ohun elo aise. O ni awọn ibeere ti o muna pupọ fun iṣakoso ti iwọn ọkà dada ati iṣalaye gara ti ibi-afẹde. Iwọn ọkà ti ibi-afẹde gbọdọ wa ni iṣakoso ni 100μ M ni isalẹ, nitorina, iṣakoso ti iwọn ọkà ati awọn ọna ti iṣiro ibamu ati wiwa jẹ pataki pupọ fun idagbasoke awọn ibi-afẹde irin.
3,Idagbasoke ti onínọmbà atiidanwo ọna ẹrọ
Iwa mimọ ti ibi-afẹde tumọ si idinku awọn aimọ. Ni iṣaaju, pilasima ti o ni inductively (ICP) ati atomiki gbigba spectrometry ni a lo lati pinnu awọn aimọ, ṣugbọn ni awọn ọdun aipẹ, itupalẹ didara itujade didan (GDMS) pẹlu ifamọ ti o ga julọ ni a ti lo diẹdiẹ bi idiwọn. ọna. Awọn ọna RRR resistance ratio ti o ku ti wa ni o kun lo fun awọn ipinnu ti itanna ti nw. Ilana ipinnu rẹ ni lati ṣe iṣiro mimọ ti irin mimọ nipa wiwọn iwọn ti pipinka itanna ti awọn aimọ. Nitoripe o jẹ wiwọn resistance ni iwọn otutu yara ati iwọn otutu kekere, o rọrun lati mu nọmba naa. Ni awọn ọdun aipẹ, lati le ṣawari iwulo ti awọn irin, iwadii lori mimọ-giga pupọ n ṣiṣẹ lọwọ. Ni ọran yii, iye RRR jẹ ọna ti o dara julọ lati ṣe iṣiro mimọ.
Akoko ifiweranṣẹ: May-06-2022