Rich Special Material Co., Ltd. le ṣe agbejade awọn ibi-afẹde alumini mimọ-giga, awọn ibi-afẹfẹ bàbà, awọn ibi-afẹde tantalum, awọn ibi-afẹde sputtering titanium, bbl fun ile-iṣẹ semikondokito.
Awọn eerun Semiconductor ni awọn ibeere imọ-ẹrọ giga ati awọn idiyele giga fun awọn ibi-afẹde sputtering. Awọn ibeere wọn fun mimọ ati imọ-ẹrọ ti awọn ibi-afẹde sputtering ga ju awọn ti awọn ifihan nronu alapin, awọn sẹẹli oorun ati awọn ohun elo miiran. Awọn eerun Semikondokito ṣeto awọn iṣedede ti o muna pupọ lori mimọ ati microstructure inu ti awọn ibi-afẹde sputtering. Ti akoonu aimọ ti ibi-afẹde sputtering ba ga ju, fiimu ti a ṣẹda ko le pade awọn ohun-ini itanna ti o nilo. Ni awọn sputtering ilana, o jẹ rorun lati dagba patikulu lori wafer, Abajade ni kukuru Circuit tabi Circuit bibajẹ, eyi ti isẹ ni ipa lori awọn iṣẹ ti awọn fiimu. Ni gbogbogbo, ibi-afẹde sputtering mimọ ti o ga julọ ni a nilo fun iṣelọpọ chirún, eyiti o jẹ igbagbogbo 99.9995% (5N5) tabi ga julọ.
Awọn ibi-afẹde sputtering ni a lo fun iṣelọpọ ti awọn fẹlẹfẹlẹ idena ati iṣakojọpọ awọn fẹlẹfẹlẹ onirin irin. Ninu ilana iṣelọpọ wafer, ibi-afẹde ni a lo ni pataki lati ṣe Layer conductive, Layer idena ati akoj irin ti wafer. Ninu ilana ti iṣakojọpọ chirún, ibi-afẹde sputtering ni a lo lati ṣe ina awọn ipele irin, awọn fẹlẹfẹlẹ onirin ati awọn ohun elo irin miiran labẹ awọn bumps. Botilẹjẹpe iye awọn ohun elo ibi-afẹde ti a lo ninu iṣelọpọ wafer ati iṣakojọpọ chirún jẹ kekere, ni ibamu si awọn iṣiro SEMI, idiyele awọn ohun elo ibi-afẹde ni iṣelọpọ wafer ati ilana iṣakojọpọ jẹ nipa 3%. Sibẹsibẹ, didara ibi-afẹde sputtering taara ni ipa lori iṣọkan ati iṣẹ ti Layer conductive ati Layer idena, nitorinaa ni ipa iyara gbigbe ati iduroṣinṣin ti ërún. Nitorinaa, ibi-afẹde sputtering jẹ ọkan ninu awọn ohun elo aise akọkọ fun iṣelọpọ semikondokito
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-16-2022