וואָס זענען די טשאַראַקטעריסטיקס און טעכניש פּרינסאַפּאַלז פון די קאָוטינג ציל מאַטעריאַל

די דין פילם אויף די קאָוטאַד ציל איז אַ ספּעציעל מאַטעריאַל פאָרעם. אין דער ספּעציפיש ריכטונג פון גרעב, די וואָג איז זייער קליין, וואָס איז אַ מיקראָסקאָפּיק מעזשעראַבאַל קוואַנטיטי. אין דערצו, ווייַל פון די אויסזען און צובינד פון פילם גרעב, מאַטעריאַל קאַנטיניויישאַן טערמאַנייץ, וואָס מאכט די פילם דאַטן און ציל דאַטן האָבן פאַרשידענע פּראָסט פּראָפּערטיעס. דער פּרינציפּ און סקילז פון ספּאַטערינג קאָוטינג.

　　一、 פּרינציפּ פון ספּאַטערינג קאָוטינג

ספּאַטערינג קאָוטינג בקיעס איז צו נוצן יאָן שעלינג ציל אויסזען, די ציל אַטאָמס זענען שלאָגן אויס פון דער דערשיינונג באקאנט ווי ספּאַטערינג. די אַטאָמס דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט זענען גערופן ספּאַטערינג קאָוטינג. בכלל, גאַז ייאַנאַזיישאַן איז געשאפן דורך גאַז אָפּזאָגן, און די positive ייאַנז באָמבאַסט די קאַטאָוד ציל אין הויך גיכקייַט אונטער דער קאַמף פון עלעקטריק פעלד, סטרייקינג אויס די אַטאָמס אָדער מאַלאַקיולז פון די אַטאָם. קאַטאָוד ציל, און פליענדיק צו די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט צו זיין דאַפּאַזיטיד אין אַ פילם. סימפּלי גערעדט, ספּאַטערינג קאָוטינג ניצט נידעריק דרוק ינערט גאַז שייַנען אָפּזאָגן צו דזשענערייט ייאַנז.

אין אַלגעמיין, די ספּאַטערינג פילם פּלייטינג עקוויפּמענט איז יקוויפּט מיט צוויי ילעקטראָודז אין אַ וואַקוום אָפּזאָגן קאַמער, און די קאַטאָוד ציל איז קאַמפּאָוזד פון קאָוטינג דאַטן. די וואַקוום קאַמער איז אָנגעפילט מיט אַרגאָן גאַז מיט אַ דרוק פון 0.1 ~ 10 פּאַ. שייַנען אָפּזאָגן אַקערז בייַ די קאַטאָוד אונטער דער קאַמף פון נעגאַטיוו הויך וואָולטידזש פון 1 ~ 3קוו דק אָדער רף וואָולטידזש פון 13.56מהז.אַרגאָן ייאַנז באַמבאַרד די ציל ייבערפלאַך און פאַרשאַפן די ספּאַטערד ציל אַטאָמס צו אָנקלייַבן אויף די סאַבסטרייט.

　　二、 ספּוטטערינג קאָוטינג סקילז טשאַראַקטעריסטיקס

1, שנעל סטאַקינג גיכקייַט

דער חילוק צווישן די הויך-גיכקייַט מאַגנטראָן ספּוטערינג ילעקטראָוד און די טראדיציאנעלן צוויי-בינע ספּוטערינג ילעקטראָוד איז אַז די מאַגנעט איז עריינדזשד אונטער די ציל, אַזוי די פארמאכט אַניוואַן מאַגנעטיק פעלד אַקערז אויף די ייבערפלאַך פון די ציל. פון די כעטעראַדזשיניאַס מאַגנעטיק פעלד. ווייַל פון די פאָוקיסינג ווירקונג, די עלעקטראָנס אַנטלויפן ווייניקער. די כעטעראַדזשיניאַס מאַגנעטיק פעלד גייט אַרום די ציל ייבערפלאַך, און די צווייטיק עלעקטראָנס קאַפּטשערד אין די כעטעראַדזשיניאַס מאַגנעטיק פעלד קאַלייד מיט די גאַז מאַלאַקיולז ריפּיטידלי, וואָס ימפּרוווז די הויך קאַנווערזשאַן קורס פון די גאַז מאַלאַקיולז. קענען באַקומען אַ גרויס קאָוטינג עפעקטיווקייַט, מיט ידעאַל אָפּזאָגן טשאַראַקטעריסטיקס.

2, די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור איז נידעריק

הויך-גיכקייַט מאַגנטראָן ספּוטערינג, אויך באקאנט ווי נידעריק טעמפּעראַטור ספּוטערינג. די סיבה איז אַז די מיטל ניצט דיסטשאַרדזשאַז אין אַ פּלאַץ פון ילעקטראָומאַגנעטיק פעלדער וואָס זענען גלייַך צו יעדער אנדערער. די צווייטיק עלעקטראָנס וואָס פאַלן אויף די אַרויס פון די ציל, אין יעדער אנדערער. אונטער דער קאַמף פון אַ גלייַך ילעקטראָומאַגנעטיק פעלד, עס איז געבונדן לעבן די ציל ס ייבערפלאַך און באוועגט צוזאמען די סטאַרטפּאַס אין אַ קייַלעכיק ראָולינג שורה, ריפּיטידלי נאַקינג קעגן די גאַז מאַלאַקיולז צו ייאַנייז די גאַז מאַלאַקיולז. צוזאַמען, די עלעקטראָנס זיך ביסלעכווייַז פאַרלירן זייער ענערגיע, דורך ריפּיטיד באַמפּס, ביז זייער ענערגיע איז כּמעט גאָר פאַרפאַלן איידער זיי קענען אַנטלויפן פון די ייבערפלאַך פון די ציל לעבן די סאַבסטרייט. ווייַל די ענערגיע פון ​​די עלעקטראָנס איז אַזוי נידעריק, די טעמפּעראַטור פון די ציל טוט נישט העכערונג צו הויך. דאָס איז גענוג צו אַנטקעגנשטעלנ די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור העכערונג געפֿירט דורך די הויך-ענערגיע עלעקטראָן באָמבאַרדמענט פון אַ פּראָסט דייאָוד שאָס, וואָס קאַמפּליץ די קריאָגעניזאַטיאָן.

3, א ברייט קייט פון מעמבראַנע סטראַקטשערז

די סטרוקטור פון דין פילמס באקומען דורך וואַקוום יוואַפּעריישאַן און ינדזשעקשאַן דעפּאַזישאַן איז גאַנץ אַנדערש פון דעם באקומען דורך טינינג פאַרנעם סאָלידס. אין קאַנטראַסט צו די בכלל יגזיסטינג סאָלידס, וואָס זענען קלאַסאַפייד ווי יסענשאַלי די זעלבע סטרוקטור אין דרייַ דימענשאַנז, די פילמס דאַפּאַזיטיד אין די גאַז פאַסע זענען קלאַסאַפייד ווי כעטעראַדזשיניאַס סטראַקטשערז. די דין פילמס זענען קאָלומנער און קענען זיין ינוועסטאַגייטאַד דורך סקאַנינג עלעקטראָן מיקראָסקאָפּי. די קאָלומנער וווּקס פון דעם פילם איז געפֿירט דורך די אָריגינעל קאַנוועקס ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט און אַ ביסל שאַדאָוז אין די באַוווסט טיילן פון די סאַבסטרייט. אָבער, די פאָרעם און גרייס פון דער זייַל זענען גאַנץ אַנדערש רעכט צו דער סאַבסטרייט טעמפּעראַטור, די ייבערפלאַך דיספּערשאַן פון סטאַקט אַטאָמס, די קווורע פון ​​טומע אַטאָמס און די אינצידענט ווינקל פון אינצידענט אַטאָמס קאָרעוו צו די סאַבסטרייט ייבערפלאַך. אין די יבעריק טעמפּעראַטור קייט, די דין פילם האט אַ פייבראַס סטרוקטור, הויך געדיכטקייַט, קאַמפּאָוזד פון פייַן קאָלומנער קריסטאַלז, וואָס איז די יינציק סטרוקטור פון די ספּאַטערינג פילם.

ספּוטערינג דרוק און פילם סטאַקינג גיכקייַט אויך ווירקן די סטרוקטור פון די פילם. ווייַל גאַז מאַלאַקיולז האָבן די ווירקונג פון סאַפּרעסינג די דיספּערסיאָן פון אַטאָמס אויף די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט, די ווירקונג פון הויך ספּוטערינג דרוק איז פּאַסיק פֿאַר די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור קאַפּ אין די מאָדעל. דעריבער, פּאָרעז פילמס מיט פייַן גריינז קענען זיין באקומען ביי הויך ספּיטערינג דרוק. דעם קליין קערל גרייס פילם איז פּאַסיק פֿאַר לובריקיישאַן, טראָגן קעגנשטעל, ייבערפלאַך כאַרדאַנינג און אנדערע מאַקאַניקאַל אַפּלאַקיישאַנז.

4, צולייגן זאַץ יוואַנלי

קאַמפּאַונדז, מיקסטשערז, אַלויז, אאז"ו ו, וואָס זענען פּאַסיק שווער צו זיין קאָוטאַד דורך וואַקוום יוואַפּעריישאַן ווייַל די פארע פּרעשערז פון די קאַמפּאָונאַנץ זענען אַנדערש אָדער ווייַל זיי דיפערענשיייט ווען העאַטעד. ספּוטערינג קאָוטינג אופֿן איז צו מאַכן די ציל ייבערפלאַך שיכטע פון ​​אַטאָמס שיכטע דורך שיכטע צו די סאַבסטרייט, אין דעם זינען איז אַ מער שליימעסדיק פילם מאכן סקילז. אַלע מינים פון מאַטעריאַלס קענען ווערן גענוצט אין ינדאַסטריאַל קאָוטינג פּראָדוקציע דורך ספּאַטערינג.