הויפּט פּראָפּערטיעס פון ספּאַטערינג ציל מאַטעריאַל

מיר מוזן זיין זייער באַקאַנט מיט דעם ציל איצט, איצט דער ציל מאַרק איז אויך ינקריסינג, די פאלגענדע איז די הויפּט פאָרשטעלונג פון ספּאַטערינג ציל שערד דורך רעדאַקטאָר פון RSM

　　די ריינקייַט

ריינקייַט פון ציל מאַטעריאַל איז איינער פון די הויפּט פאָרשטעלונג ינדעקסיז, ווייַל די ריינקייַט פון ציל מאַטעריאַל האט אַ גרויס השפּעה אויף די פאָרשטעלונג פון דין פילם. אָבער, אין פּראַקטיש אַפּלאַקיישאַן, די ריינקייַט באדערפענישן פון ציל מאַטעריאַלס זענען נישט די זעלבע. פֿאַר בייַשפּיל, מיט די גיך אַנטוויקלונג פון די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע, די סיליציום שפּאָן גרייס איז דעוועלאָפּעד פון 6 ", 8" צו 12 ", און די וויירינג ברייט איז רידוסט פון 0.5ום צו 0.25um, 0.18um אָדער אפילו 0.13um. ביז אַהער, די ריינקייַט פון 99.995% ציל מאַטעריאַל קענען טרעפן די פּראָצעס רעקווירעמענץ פון 0.35umIC. די ריינקייַט פון די ציל מאַטעריאַל איז 99.999% אָדער אפילו 99.9999% פֿאַר די צוגרייטונג פון 0.18ום שורות.

　　תוכן טומאה

די ימפּיוראַטיז אין די ציל האַרט און די זויערשטאָף און וואַסער פארע אין די פּאָרעס זענען די הויפּט פאַרפּעסטיקונג קוואלן פון פילם דעפּאַזישאַן. ציל מאַטעריאַלס פֿאַר פאַרשידענע צוועקן האָבן פאַרשידענע באדערפענישן פֿאַר פאַרשידענע טומע אינהאַלט. פֿאַר בייַשפּיל, ריין אַלומינום און אַלומינום צומיש טאַרגאַץ געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע האָבן ספּעציעל באדערפענישן פֿאַר די אינהאַלט פון אַלקאַלי מעטאַלס ​​און ראַדיאָאַקטיוו עלעמענטן.

　　די געדיכטקייַט

אין סדר צו רעדוצירן די פּאָראָסיטי אין די ציל האַרט און פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון די ספּאַטערינג פילם, אַ הויך געדיכטקייַט פון די ציל איז יוזשאַוואַלי פארלאנגט. די געדיכטקייַט פון די ציל אַפעקץ ניט בלויז די ספּיטערינג קורס אָבער אויך די עלעקטריקאַל און אָפּטיש פּראָפּערטיעס פון די פילם. די העכער די ציל געדיכטקייַט, די בעסער די פילם פאָרשטעלונג. אין דערצו, ינקריסינג די געדיכטקייַט און שטאַרקייט פון די ציל מאכט די ציל בעסער וויטסטאַנד די טערמאַל דרוק אין די ספּאַטערינג פּראָצעס. געדיכטקייַט איז אויך איינער פון די שליסל פאָרשטעלונג ינדעקסיז פון ציל.

　　פאַרשפּרייטונג פון קערל גרייס און קערל גרייס

דער ציל איז יוזשאַוואַלי פּאָליקריסטאַללינע מיט קערל גרייס ריינדזשינג פון מיקראָמעטער צו מילאַמיטער. פֿאַר דער זעלביקער ציל, די ספּיטערינג קורס פון די ציל מיט קליין גריינז איז פאַסטער ווי אַז פון די ציל מיט גרויס גריינז. די גרעב פאַרשפּרייטונג פון די פילמס דאַפּאַזיטיד דורך ספּאַטערינג ציל מיט קלענערער קערל גרייס חילוק (מונדיר פאַרשפּרייטונג) איז מער מונדיר.