Kufuneka siqhelane kakhulu noko kujoliswe kuko ngoku, ngoku imarike ekujoliswe kuyo nayo iyanda, oku kulandelayo yintoni eyona njongo yesputtering ekwabelwana ngayo ngumhleli osuka kwiRSM.
Ubunyulu
Ukucoceka kwezinto ezijoliswe kuyo ngenye yezalathisi eziphambili zokusebenza, kuba ukucoceka kwezinto ezijoliswe kuyo kunempembelelo enkulu ekusebenzeni kwefilimu encinci. Nangona kunjalo, ekusebenziseni okusebenzayo, iimfuno zokucoceka kwezinto ezijoliswe kuzo azifani. Ngokomzekelo, ngophuhliso olukhawulezayo lweshishini le-microelectronics, ubukhulu be-silicon chip buphuhliswe ukusuka kwi-6 ", 8" ukuya kwi-12 ", kwaye ububanzi be-wiring buncitshisiwe ukusuka kwi-0.5um ukuya kwi-0.25um, 0.18um okanye i-0.13um. Ngaphambili, ukucoceka kwe-99.995% yezinto ezijoliswe kuyo kunokuhlangabezana neemfuno zenkqubo ye-0.35umIC. Ukucoceka kwezinto ezijoliswe kuyo yi-99.999% okanye nakwi-99.9999% yokulungiswa kwemigca ye-0.18um.
Umxholo wokungcola
Ukungcola kwindawo ekujoliswe kuyo okuqinileyo kunye neoksijini kunye nomphunga wamanzi kwi-pores yeyona mithombo yongcoliseko yokubekwa kwefilimu. Izinto ezijoliswe kuzo kwiinjongo ezahlukeneyo zineemfuno ezahlukeneyo zomxholo wokungcola okwahlukeneyo. Ngokomzekelo, iithagethi ze-aluminium ecocekileyo kunye ne-aluminium ye-alloy esetyenziswa kwishishini le-semiconductor zineemfuno ezikhethekileyo kumxholo wesinyithi se-alkali kunye nezixhobo ze-radioactive.
Ukuxinana
Ukuze kuncitshiswe i-porosity kwithagethi eqinileyo kunye nokuphucula ukusebenza kwefilimu ye-sputtering, ukuxinana okuphezulu kwethagethi kuyafuneka. Ubuninzi benjongo ekujoliswe kuyo abuchaphazeli kuphela izinga lokutshiza kodwa kunye neempawu zombane kunye ne-optical yefilimu. Ukuphakama koxinano ekujoliswe kulo, ngcono ukusebenza kwefilimu. Ukongeza, ukwandisa ubuninzi kunye namandla ekujoliswe kuyo kwenza ukuba ithagethi ibe ngcono ukumelana noxinzelelo lwe-thermal kwinkqubo yokutshiza. Uxinaniso lukwayenye yezalathisi eziphambili zokusebenza koko kujoliswe kuko.
Ubungakanani beenkozo kunye nokusabalalisa ubungakanani beenkozo
Ithagethi ngokuqhelekileyo i-polycrystalline kunye nobukhulu beenkozo ukusuka kwi-micrometer ukuya kwi-millimeter. Kwithagethi efanayo, izinga lokutshiza ekujoliswe kulo ngeenkozo ezincinci likhawuleza kunelo lijoliswe kuko ngeenkozo ezinkulu. Ubuninzi bokusasazwa kweefilimu ezifakwe kwithagethi ye-sputtering kunye nomahluko omncinci wobungakanani beenkozo (ukuhanjiswa okulinganayo) kufana kakhulu.
Ixesha lokuposa: Aug-04-2022