Các mục tiêu phún xạ là gì? Tại sao mục tiêu lại quan trọng đến vậy?

Ngành công nghiệp bán dẫn thường thấy một thuật ngữ dành cho vật liệu mục tiêu, có thể được chia thành vật liệu wafer và vật liệu đóng gói. Vật liệu đóng gói có rào cản kỹ thuật tương đối thấp so với vật liệu sản xuất wafer. Quá trình sản xuất tấm wafer chủ yếu bao gồm 7 loại vật liệu bán dẫn và hóa chất, trong đó có một loại vật liệu mục tiêu phún xạ. Vậy vật liệu mục tiêu là gì? Tại sao vật liệu mục tiêu lại quan trọng đến vậy? Hôm nay chúng ta sẽ nói về vật liệu mục tiêu là gì!

Vật liệu mục tiêu là gì?

Nói một cách đơn giản, vật liệu mục tiêu là vật liệu mục tiêu bị bắn phá bởi các hạt tích điện tốc độ cao. Bằng cách thay thế các vật liệu mục tiêu khác nhau (chẳng hạn như mục tiêu nhôm, đồng, thép không gỉ, titan, niken, v.v.), có thể thu được các hệ thống màng khác nhau (chẳng hạn như màng hợp kim siêu cứng, chống mài mòn, chống ăn mòn, v.v.).

Hiện nay, vật liệu mục tiêu phún xạ (độ tinh khiết) có thể được chia thành:

1) Mục tiêu kim loại (nhôm kim loại nguyên chất, titan, đồng, tantalum, v.v.)

2) Mục tiêu hợp kim (hợp kim niken crom, hợp kim niken coban, v.v.)

3) Mục tiêu hợp chất gốm (oxit, silicua, cacbua, sunfua, v.v.).

Theo các công tắc khác nhau, nó có thể được chia thành: mục tiêu dài, mục tiêu vuông và mục tiêu tròn.

Theo các lĩnh vực ứng dụng khác nhau, nó có thể được chia thành: mục tiêu chip bán dẫn, mục tiêu hiển thị màn hình phẳng, mục tiêu pin mặt trời, mục tiêu lưu trữ thông tin, mục tiêu sửa đổi, mục tiêu thiết bị điện tử và các mục tiêu khác.

Khi xem xét điều này, bạn chắc hẳn đã hiểu rõ về các mục tiêu phún xạ có độ tinh khiết cao, cũng như nhôm, titan, đồng và tantalum được sử dụng trong các mục tiêu kim loại. Trong sản xuất tấm bán dẫn, quy trình nhôm thường là phương pháp chính để sản xuất tấm bán dẫn có kích thước 200mm (8 inch) trở xuống và vật liệu mục tiêu được sử dụng chủ yếu là các nguyên tố nhôm và titan. Sản xuất wafer 300mm (12 inch), chủ yếu sử dụng công nghệ kết nối đồng tiên tiến, chủ yếu sử dụng các mục tiêu bằng đồng và tantalum.

Mọi người nên hiểu tài liệu mục tiêu là gì. Nhìn chung, với phạm vi ứng dụng chip ngày càng tăng và nhu cầu ngày càng tăng trên thị trường chip, chắc chắn nhu cầu về bốn vật liệu kim loại màng mỏng chủ đạo trong ngành sẽ tăng lên, đó là nhôm, titan, tantalum và đồng. Và hiện tại chưa có giải pháp nào khác có thể thay thế được 4 vật liệu kim loại màng mỏng này.