Chúng ta đều biết rằng có nhiều thông số kỹ thuật của mục tiêu phún xạ,cái đó có cái gìphạm vi ứng dụng ide.Tông mục tiêu giống thường được sử dụng trong các ngành công nghiệp khác nhau cũng khác nhau, hôm nay chúng ta hãy đến với Bắc KinhRichmat cùng nhau tìm hiểu về phân loại ngành mục tiêu phún xạ.
一、Định nghĩa vật liệu mục tiêu phún xạ
Phún xạ là một trong những công nghệ chính để chế tạo vật liệu màng mỏng. Nó sử dụng các ion được tạo ra bởi nguồn ion để tạo thành chùm ion có năng lượng vận tốc cao thông qua quá trình kết tụ tăng tốc trong chân không. Bề mặt rắn bị bắn phá, các ion và nguyên tử bề mặt rắn có sự trao đổi động năng, do đó các nguyên tử trên bề mặt rắn rời khỏi chất rắn và lắng đọng trên bề mặt chất nền, chất rắn bị bắn phá là nguyên liệu thô để chuẩn bị màng lắng đọng phún xạ, được gọi là mục tiêu phún xạ.
二、Phân loại lĩnh vực ứng dụng của vật liệu mục tiêu phún xạ
1、Mục tiêu bán dẫn
(1)Vật liệu thường được sử dụng:Các mục tiêu phổ biến trong lĩnh vực này bao gồm tantalum, đồng, titan, nhôm, vàng, niken và các kim loại có điểm nóng chảy cao khác.
(2)Cách sử dụng：Về cơ bản sử dụng dữ liệu gốc quan trọng của mạch tích hợp
(3)Yêu cầu chức năng：Yêu cầu kỹ thuật về độ tinh khiết, kích thước, độ tích hợp cao.
2、Vật liệu mục tiêu cho màn hình phẳng
(1)Vật liệu thường được sử dụng：Các mục tiêu thường được sử dụng trong lĩnh vực này bao gồm nhôm/đồng/molypden/niken/niobium/silicon/crom, v.v.
(2)Cách sử dụng：Loại vật liệu mục tiêu này chủ yếu được sử dụng trong các loại phim diện tích lớn của TV và máy tính xách tay。
(3)Yêu cầu chức năng：Yêu cầu cao về độ tinh khiết, diện tích lớn, tính đồng nhất, v.v.
3、Mục tiêu cho pin mặt trời
(1)Vật liệu thường được sử dụng：Các mục tiêu nhôm/đồng/Molypden/crom/ITO/Ta thường được sử dụng trong pin mặt trời.
(2)Cách sử dụng：Chủ yếu được sử dụng trong “lớp cửa sổ”, lớp rào cản, điện cực và màng dẫn điện và các dịp khác。
(3)Yêu cầu chức năng：Yêu cầu kỹ năng cao, phạm vi sử dụng rộng rãi.
4、Tài liệu mục tiêu để lưu trữ thông tin
(1)Vật liệu thường được sử dụng：Lưu trữ thông tin thường được sử dụng vật liệu mục tiêu coban/niken/ferroalloy/crom/telurium/selenium.
(2)Cách sử dụng：Vật liệu mục tiêu ở đây chủ yếu được sử dụng cho lớp đầu, lớp giữa và lớp dưới cùng của đĩa cd-rom và CD.
(3) Yêu cầu về chức năng：Cần có mật độ lưu trữ cao và tốc độ truyền tải cao.
5、Vật liệu mục tiêu để sửa đổi công cụ
(1)Vật liệu thường được sử dụng：Công cụ sửa đổi hợp kim titan/zirconium/lưới/chrome-nhôm và các mục tiêu khác.
(2)Cách sử dụng:Nó thường được sử dụng để cải thiện ngoại hình.
(3)Yêu cầu chức năng：Yêu cầu chức năng cao, tuổi thọ dài.
6、Vật liệu mục tiêu cho các thiết bị điện tử
(1)Vật liệu thường được sử dụng:Mục tiêu hợp kim nhôm/silicide được sử dụng phổ biến trong các thiết bị điện tử
(2)Cách sử dụng：Thường được sử dụng cho điện trở màng và tụ điện.
(3)Yêu cầu chức năng：Kích thước nhỏ, ổn định, hệ số nhiệt độ điện trở thấp
Thời gian đăng: 21-04-2022