Mục tiêu hợp kim titan phún xạ và kim loại titan được cấu tạo từ titan, do đó thông tin gần giống nhau, nhưng sự khác biệt giữa hai loại này chủ yếu nằm ở mục tiêu hợp kim titan phún xạ được làm bằng kim loại titan thông qua nhiều cách và titan xuất hiện trong tự nhiên dưới dạng quặng titan. Các mục tiêu hợp kim titan có thể được sử dụng rộng rãi trong nhiều loại nghề nghiệp, Bây giờ, tác giả của Richmat Bắc Kinh đã tóm tắt một số mục tiêu hợp kim titan phổ biến về mặt sử dụng tình huống để giới thiệu chi tiết cho chúng tôi.
一、Mục tiêu Ti cho mạch tích hợp
Các yêu cầu để phún xạ các mục tiêu hợp kim titan là khác nhau giữa mạch không tích hợp và mạch tích hợp. Nhìn chung, các mạch tích hợp có yêu cầu cao hơn đối với dữ liệu lớp phủ, chẳng hạn như độ tinh khiết cao hơn, kích thước hạt nhỏ hơn và độ chính xác của thang đo chính xác hơn. Độ tinh khiết của mục tiêu titan trong mạch tích hợp lớn hơn 99,995%, cao hơn mức được sử dụng trong mạch không tích hợp mạch, chỉ ra rằng việc sử dụng các yêu cầu mục tiêu titan khác nhau là rất khác nhau.
二、Ti target cho màn hình phẳng
Các mục tiêu hợp kim titan được sử dụng trong màn hình phẳng bao gồm màn hình tinh thể lỏng, màn hình plasma, màn hình điện phát quang và màn hình phát xạ trường. Màng mỏng của màn hình phẳng là phương pháp tạo hình phún xạ, Al, Cu, Ti và Mo là mục tiêu phún xạ kim loại chính cho màn hình phẳng màn hình. Độ tinh khiết của mục tiêu hợp kim titan cho màn hình phẳng thường lớn hơn 99,9%.
三、Ti mục tiêu cho vật liệu trang trí
Vật liệu mục tiêu hợp kim titan có độ tinh khiết cao có khả năng chống ăn mòn không khí tuyệt vời, sử dụng lâu dài trong không khí không đổi màu, đảm bảo màu gốc của titan khi tiếp xúc với con người không bị dị ứng và các đặc tính tuyệt vời khác. Do đó, titan có độ tinh khiết cao cũng có thể được sử dụng làm vật liệu trang trí, trong những năm gần đây, chẳng hạn như vòng tay, đồng hồ, kính và các đồ trang trí khác có độ tinh khiết titan đã đạt đến mức 5N.
四、Mục tiêu Ti cho hệ thống bơm chân không siêu cao
Là kim loại có hoạt tính hóa học, titan có thể phản ứng với nhiều nguyên tố và hợp chất ở nhiệt độ cao. Mục tiêu hợp kim titan có độ tinh khiết cao có khả năng hấp phụ mạnh đối với các khí hoạt động (như O2, N2, CO, CO2, hơi nước trên 650 ° C) và màng Ti bay hơi trên thành bơm có thể tạo thành bề mặt có hiệu suất hấp phụ cao . Đặc tính này làm cho Ti được sử dụng rộng rãi làm chất thu khí trong hệ thống chiết khí chân không cực cao. Nếu được sử dụng để cải tiến máy bơm, bơm ion phún xạ, v.v., nó có thể làm cho áp suất vận hành cuối cùng của bơm ion phún xạ thấp tới 10-9PA
Thời gian đăng: 25-04-2022