Nhiều người dùng không xem xét việc mua mục tiêu từ quan điểm chuyên nghiệp, vậy khi mua mục tiêu cần chú ý điều gì? Hãy yêu cầu Xiaobian của Beijing Ruichi chỉ ra những vấn đề cần chú ý khi mua mục tiêu.
Thứ nhất, đối với mục tiêu, độ tinh khiết là một trong những chỉ số chức năng chính của nó và độ tinh khiết của mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến chức năng của màng sản phẩm sau này. Mỗi sản phẩm cũng có những yêu cầu khác nhau về độ tinh khiết của mục tiêu.
Thứ hai, hàm lượng tạp chất của từng phần tử trong mục tiêu. Sau một loạt quá trình xử lý mục tiêu, các tạp chất trong chất rắn mục tiêu và oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính của màng lắng đọng. Do mục đích sử dụng khác nhau nên yêu cầu về hàm lượng tạp chất khác nhau của mục tiêu với mục đích sử dụng khác nhau cũng khác nhau. Ví dụ, các mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm nguyên chất được sử dụng trong ngành bán dẫn hiện có các yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và các nguyên tố phóng xạ.
Mật độ cũng là một trong những chỉ số hiệu suất quan trọng của mục tiêu Trong quy trình kỹ thuật của mục tiêu, để giảm lỗ chân lông trong chất rắn mục tiêu và cải thiện chức năng của màng phún xạ, mục tiêu thường phải có mật độ cao. Mật độ đặc trưng chính của mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến tốc độ phún xạ và ảnh hưởng đến chức năng điện và quang của màng. Mật độ mục tiêu càng cao thì chức năng của phim càng tốt.
Cuối cùng là kích thước hạt và sự phân bố hạt. Thông thường, vật liệu mục tiêu là đa tinh thể và kích thước hạt có thể dao động từ micron đến milimet. Đối với cùng một mục tiêu, tốc độ phún xạ của mục tiêu hạt mịn nhanh hơn mục tiêu hạt thô; Độ dày của màng được lắng đọng bằng phương pháp phún xạ mục tiêu với chênh lệch kích thước hạt nhỏ (phân tán đồng đều) sẽ đồng đều hơn.
Thời gian đăng: Jun-10-2022