Việc sử dụng rộng rãi vật liệu mục tiêu trong các ngành nghề khác nhau khiến nhu cầu về vật liệu mục tiêu ngày càng cao. Sau đây chúng tôi sẽ giới thiệu ngắn gọn Bạn các yêu cầu chức năng chính của mục tiêu là gì, hoping để giúp bạn.
Độ tinh khiết: Độ tinh khiết là một trong những chỉ số chức năng chính của mục tiêu, bởi vì độ tinh khiết của mục tiêu có tác động lớn đến chức năng của màng. Nhưng trên thực tế, độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu là không giống nhau. Ví dụ, với sự phát triển nhanh chóng của ngành vi điện tử, Kích thước của tấm wafer silicon đã phát triển từ 6 “, 8” đến 12 “, và chiều rộng dây đã giảm từ 0,5um xuống 0,25um, 0,18um và thậm chí 0,13um. Khi 99,995% độ tinh khiết mục tiêu có thể đáp ứng các yêu cầu công nghệ là 0,35UMIC. Việc chuẩn bị dòng 0,18um yêu cầu độ tinh khiết 99,999% hoặc thậm chí 99,9999% của vật liệu mục tiêu.
Mật độ: Để giảm độ xốp trong chất rắn mục tiêu và cải thiện chức năng của màng phún xạ, mục tiêu thường phải có mật độ cao. Mật độ mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ mà còn ảnh hưởng đến tính chất điện và quang của màng. Mật độ mục tiêu càng cao thì chức năng của màng càng tốt. Ngoài ra, mật độ và độ bền của vật liệu mục tiêu được tăng lên để giúp nó có khả năng chịu được ứng suất nhiệt trong quá trình phún xạ tốt hơn. Mật độ cũng là một trong những chỉ số chức năng quan trọng của chất mục tiêu.
Hàm lượng tạp chất: tạp chất trong chất rắn mục tiêu và oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính của màng tích lũy. Các vật liệu mục tiêu khác nhau cho các mục đích khác nhau có yêu cầu khác nhau đối với hàm lượng tạp chất khác nhau. Ví dụ, mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm nguyên chất được sử dụng trong ngành bán dẫn có yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và hàm lượng nguyên tố phóng xạ.
Thời gian đăng: Jun-06-2022