Vật liệu mục tiêu phún xạ có yêu cầu cao trong quá trình sử dụng, không chỉ về độ tinh khiết và kích thước hạt mà còn về kích thước hạt đồng đều. Những yêu cầu cao này khiến chúng tôi chú ý hơn khi sử dụng vật liệu mục tiêu phún xạ.
1. Chuẩn bị phún xạ
Điều rất quan trọng là duy trì độ sạch của buồng chân không, đặc biệt là hệ thống phún xạ. Chất bôi trơn, bụi và bất kỳ cặn nào từ lớp phủ trước có thể tích tụ các chất ô nhiễm như nước, ảnh hưởng trực tiếp đến chân không và làm tăng khả năng hình thành màng bị hỏng. Đoản mạch, phóng hồ quang mục tiêu, bề mặt tạo màng thô và tạp chất hóa học quá mức thường xảy ra do buồng phún xạ, súng và mục tiêu không sạch sẽ.
Để duy trì các đặc tính thành phần của lớp phủ, khí phún xạ (argon hoặc oxy) phải sạch và khô. Sau khi lắp đặt lớp nền vào buồng phún xạ, không khí cần được hút ra để đạt độ chân không cần thiết cho quá trình.
2. Làm sạch mục tiêu
Mục đích của việc làm sạch mục tiêu là để loại bỏ bụi bẩn có thể tồn tại trên bề mặt mục tiêu.
3. Cài đặt mục tiêu
Điều quan trọng nhất cần chú ý trong quá trình lắp đặt vật liệu mục tiêu là đảm bảo kết nối nhiệt tốt giữa vật liệu mục tiêu và thành làm mát của súng phún xạ. Nếu vách làm mát hoặc tấm phía sau bị cong vênh nghiêm trọng, nó có thể gây ra vết nứt hoặc uốn cong trong quá trình lắp đặt vật liệu mục tiêu. Sự truyền nhiệt từ bia phía sau sang vật liệu bia sẽ bị ảnh hưởng rất lớn, dẫn đến không có khả năng tản nhiệt trong quá trình phún xạ, cuối cùng dẫn đến nứt hoặc lệch vật liệu bia.
4. Kiểm tra ngắn mạch và niêm phong
Sau khi lắp đặt vật liệu mục tiêu, cần kiểm tra tính ngắn mạch và độ kín của toàn bộ cực âm. Nên sử dụng ôm kế và megohm kế để xác định xem cực âm có bị đoản mạch hay không. Sau khi xác nhận rằng cực âm không bị đoản mạch, có thể tiến hành phát hiện rò rỉ bằng cách bơm nước vào cực âm để xác định xem có rò rỉ hay không.
5. Vật liệu mục tiêu phún xạ trước
Nên sử dụng khí argon tinh khiết để phún xạ trước vật liệu mục tiêu, có thể làm sạch bề mặt của vật liệu mục tiêu. Nên tăng từ từ công suất phún xạ trong quá trình phún xạ trước cho vật liệu mục tiêu. Sức mạnh của vật liệu mục tiêu gốm
Thời gian đăng: Oct-19-2023