Kiến thức bảo trì mục tiêu phún xạ

Nhiều bạn về việc bảo trì mục tiêu ít nhiều thắc mắc, gần đây cũng có nhiều khách hàng tư vấn về việc bảo trì các vấn đề liên quan đến mục tiêu, hãy nhờ editor RSM để chúng tôi chia sẻ về kiến ​​thức bảo trì mục tiêu.

　　Mục tiêu phún xạ nên được duy trì như thế nào?

　　1, Bảo trì mục tiêu

Để tránh đoản mạch và phóng điện do khoang không sạch trong quá trình phún xạ, cần định kỳ loại bỏ các tia phún xạ tích tụ ở giữa và hai bên rãnh phún xạ, điều này cũng giúp người dùng phún xạ liên tục ở mật độ công suất cao.

　　2, Lưu trữ mục tiêu

Chúng tôi khuyến nghị người dùng nên bảo quản mục tiêu (dù là kim loại hay gốm) trong bao bì chân không, đặc biệt mục tiêu lắp phải được bảo quản trong chân không để tránh quá trình oxy hóa của lớp khớp nối ảnh hưởng đến chất lượng khớp nối. Đối với việc đóng gói các mục tiêu bằng kim loại, chúng tôi khuyên bạn nên đóng gói ít nhất chúng trong túi nhựa sạch.

　　3, Làm sạch mục tiêu

Bước đầu tiên là làm sạch bằng vải mềm không có xơ ngâm trong axeton;

Bước thứ hai tương tự như bước đầu tiên là làm sạch bằng cồn;

Bước 3: làm sạch bằng nước khử ion. Sau khi làm sạch bằng nước khử ion, mục tiêu được đặt vào lò sấy và sấy khô ở 100oC trong 30 phút. Nên sử dụng “vải không có xơ” để làm sạch các mục tiêu oxit và gốm.

Bước thứ tư là rửa mục tiêu bằng argon với áp suất cao và độ ẩm thấp để loại bỏ các hạt tạp chất có thể gây ra hồ quang trong hệ thống phún xạ.

　　4, Kiểm tra ngắn mạch và độ kín

Sau khi mục tiêu được lắp đặt, toàn bộ cực âm cần được kiểm tra xem có bị đoản mạch và độ kín không. Nên đánh giá xem có đoản mạch ở cực âm hay không bằng cách sử dụng đồng hồ đo điện trở và megger. Sau khi xác nhận rằng không có hiện tượng đoản mạch ở cực âm, có thể tiến hành kiểm tra rò rỉ nước và đưa nước vào cực âm để xác định xem có rò rỉ nước hay không.

　　5, Đóng gói và vận chuyển

Tất cả các mục tiêu được đóng gói trong túi nhựa hút chân không có tẩm chất chống ẩm. Gói bên ngoài thường là hộp gỗ có lớp chống va chạm xung quanh để bảo vệ mục tiêu và bảng nối đa năng khỏi bị hư hại trong quá trình vận chuyển và bảo quản.