Các tính chất chính của vật liệu mục tiêu phún xạ

Bây giờ chúng ta hẳn đã rất quen thuộc với mục tiêu, hiện tại thị trường mục tiêu cũng đang tăng lên, sau đây là hiệu suất chính của mục tiêu phún xạ được chia sẻ bởi biên tập viên từ RSM

　　Sự tinh khiết

Độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu là một trong những chỉ số hiệu suất chính, bởi vì độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của màng mỏng. Tuy nhiên, trong ứng dụng thực tế, yêu cầu về độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu là không giống nhau. Ví dụ, với sự phát triển nhanh chóng của ngành vi điện tử, kích thước chip silicon đã được phát triển từ 6”, 8” lên 12”, và chiều rộng dây đã giảm từ 0,5um xuống 0,25um, 0,18um hoặc thậm chí 0,13um. Trước đây, độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu 99,995% có thể đáp ứng các yêu cầu quy trình là 0,35umIC. Độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu là 99,999% hoặc thậm chí 99,9999% đối với việc chuẩn bị các vạch 0,18um.

　　Hàm lượng tạp chất

Các tạp chất trong chất rắn mục tiêu và oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính của quá trình lắng đọng màng. Vật liệu mục tiêu cho các mục đích khác nhau có các yêu cầu khác nhau đối với hàm lượng tạp chất khác nhau. Ví dụ, các mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm nguyên chất được sử dụng trong ngành bán dẫn có yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và các nguyên tố phóng xạ.

　　Mật độ

Để giảm độ xốp trong chất rắn mục tiêu và cải thiện hiệu suất của màng phún xạ, mật độ mục tiêu thường cao. Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ mà còn ảnh hưởng đến tính chất điện và quang của màng. Mật độ mục tiêu càng cao thì hiệu suất phim càng tốt. Ngoài ra, việc tăng mật độ và độ bền của mục tiêu giúp mục tiêu chịu được ứng suất nhiệt tốt hơn trong quá trình phún xạ. Mật độ cũng là một trong những chỉ số hoạt động chính của mục tiêu.

　　Kích thước hạt và phân bố kích thước hạt

Mục tiêu thường là đa tinh thể với kích thước hạt từ micromet đến milimet. Đối với cùng một mục tiêu, tốc độ phún xạ của mục tiêu có hạt nhỏ nhanh hơn mục tiêu có hạt lớn. Sự phân bố độ dày của màng lắng đọng bằng mục tiêu phún xạ có chênh lệch kích thước hạt nhỏ hơn (phân bố đồng đều) sẽ đồng đều hơn.