Làm thế nào để cải thiện tỷ lệ sử dụng vật liệu mục tiêu molypden

Mục tiêu molypden phún xạ đã được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp điện tử, pin mặt trời, sơn phủ thủy tinh và các lĩnh vực khác do những ưu điểm vốn có của chúng. Với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ hiện đại về thu nhỏ, tích hợp, số hóa và trí thông minh, việc sử dụng các mục tiêu molypden sẽ tiếp tục tăng và yêu cầu chất lượng đối với chúng cũng sẽ ngày càng cao. Vì vậy, chúng ta cần tìm cách cải thiện tỷ lệ sử dụng các mục tiêu molypden. Bây giờ, biên tập viên RSM sẽ giới thiệu một số phương pháp nhằm nâng cao hiệu quả sử dụng mục tiêu phún xạ molypden cho mọi người

1. Thêm cuộn dây điện từ ở mặt sau

Để cải thiện tốc độ sử dụng của mục tiêu molypden phún xạ, một cuộn dây điện từ có thể được thêm vào mặt sau của mục tiêu molypden phún xạ Magnetron phẳng, và có thể tăng từ trường trên bề mặt mục tiêu molypden bằng cách tăng dòng điện cuộn dây điện từ, để cải thiện tỷ lệ sử dụng mục tiêu molypden.

2. Chọn vật liệu mục tiêu quay hình ống

So với mục tiêu phẳng, việc chọn cấu trúc mục tiêu xoay hình ống làm nổi bật những ưu điểm đáng kể của nó. Nhìn chung, tỷ lệ sử dụng mục tiêu phẳng chỉ từ 30% đến 50%, trong khi tỷ lệ sử dụng mục tiêu quay hình ống có thể đạt trên 80%. Hơn nữa, khi sử dụng mục tiêu phún xạ Magnetron ống rỗng quay, vì mục tiêu có thể xoay quanh cụm nam châm thanh cố định mọi lúc nên sẽ không có sự tái định vị trên bề mặt của nó, do đó tuổi thọ của mục tiêu quay thường dài hơn 5 lần hơn so với mục tiêu máy bay.

3. Thay thế thiết bị phún xạ mới

Chìa khóa để cải thiện tỷ lệ sử dụng vật liệu mục tiêu là hoàn thành việc thay thế thiết bị phún xạ. Trong quá trình phún xạ vật liệu mục tiêu phún xạ molypden, khoảng 1/6 nguyên tử phún xạ sẽ lắng đọng trên thành hoặc khung buồng chân không sau khi bị ion hydro va chạm, làm tăng chi phí làm sạch thiết bị chân không và thời gian ngừng hoạt động. Vì vậy, việc thay thế thiết bị phún xạ mới cũng có thể giúp cải thiện hiệu suất sử dụng các mục tiêu phún xạ molypden.