Như chúng ta đã biết, mục tiêu phún xạ có nhiều thông số kỹ thuật và lĩnh vực ứng dụng của chúng cũng rất rộng. Các loại mục tiêu thường được sử dụng trong các lĩnh vực khác nhau cũng khác nhau. Hôm nay chúng ta cùng tìm hiểu về phân loại các trường ứng dụng mục tiêu phún xạ cùng trình soạn thảo RSM nhé!
1, Định nghĩa mục tiêu phún xạ
Phún xạ là một trong những công nghệ chính để chế tạo vật liệu màng mỏng. Nó sử dụng các ion do nguồn ion tạo ra để tăng tốc và tập hợp trong chân không để tạo thành chùm ion tốc độ cao, bắn phá bề mặt rắn và các ion trao đổi động năng với các nguyên tử trên bề mặt rắn, để các nguyên tử trên chất rắn bề mặt được tách ra khỏi chất rắn và lắng đọng trên bề mặt chất nền. Chất rắn bị bắn phá là nguyên liệu thô để chuẩn bị màng mỏng lắng đọng bằng phương pháp phún xạ, được gọi là mục tiêu phún xạ.
2, Phân loại các lĩnh vực ứng dụng mục tiêu phún xạ
1. Mục tiêu bán dẫn
(1) Mục tiêu chung: mục tiêu chung trong lĩnh vực này bao gồm các kim loại có nhiệt độ nóng chảy cao như tantalum/đồng/titan/nhôm/vàng/niken.
(2) Cách sử dụng: chủ yếu được sử dụng làm nguyên liệu thô chính cho mạch tích hợp.
(3) Yêu cầu về hiệu suất: yêu cầu kỹ thuật cao về độ tinh khiết, kích thước, tính tích hợp, v.v.
2. Mục tiêu cho màn hình phẳng
(1) Mục tiêu chung: mục tiêu chung trong lĩnh vực này bao gồm nhôm / đồng / molypden / niken / Niobium / silicon / crom, v.v.
(2) Cách sử dụng: loại mục tiêu này chủ yếu được sử dụng cho nhiều loại phim có diện tích lớn như TV và máy tính xách tay.
(3) Yêu cầu về hiệu suất: yêu cầu cao về độ tinh khiết, diện tích lớn, tính đồng nhất, v.v.
3. Vật liệu mục tiêu cho pin mặt trời
(1) Các mục tiêu chung: nhôm / đồng / molypden / crom /ITO/Ta và các mục tiêu khác cho pin mặt trời.
(2) Cách sử dụng: chủ yếu được sử dụng trong “lớp cửa sổ”, lớp rào cản, điện cực và màng dẫn điện.
(3) Yêu cầu về hiệu suất: yêu cầu kỹ thuật cao và phạm vi ứng dụng rộng rãi.
4. Mục tiêu lưu trữ thông tin
(1) Mục tiêu chung: mục tiêu chung của coban / niken / hợp kim sắt / crom / Tellurium / selen và các vật liệu khác để lưu trữ thông tin.
(2) Cách sử dụng: loại vật liệu mục tiêu này chủ yếu được sử dụng cho đầu từ, lớp giữa và lớp dưới cùng của ổ đĩa quang và đĩa quang.
(3) Yêu cầu về hiệu suất: yêu cầu mật độ lưu trữ cao và tốc độ truyền cao.
5. Mục tiêu sửa đổi công cụ
(1) Các mục tiêu chung: các mục tiêu chung như hợp kim nhôm titan / zirconium / crom được biến đổi bằng công cụ.
(2) Cách sử dụng: thường được sử dụng để tăng cường bề mặt.
(3) Yêu cầu về hiệu suất: yêu cầu về hiệu suất cao và tuổi thọ dài.
6. Mục tiêu cho các thiết bị điện tử
(1) Mục tiêu chung: mục tiêu hợp kim nhôm/silicat thông dụng cho các thiết bị điện tử
(2) Mục đích: thường được sử dụng cho điện trở và tụ điện màng mỏng.
(3) Yêu cầu về hiệu suất: kích thước nhỏ, độ ổn định, hệ số nhiệt độ điện trở thấp
Thời gian đăng: 27-07-2022