1, purkashga tayyorgarlik
Vakuum kamerasini, ayniqsa purkash tizimini toza saqlash juda muhimdir. Yog ', chang va oldingi qoplama natijasida hosil bo'lgan har qanday qoldiq suv bug'lari va boshqa ifloslantiruvchi moddalarni to'playdi, bu vakuum darajasiga bevosita ta'sir qiladi va plyonka hosil bo'lish ehtimolini oshiradi. Qisqa tutashuv yoki maqsadli kamon, qo'pol plyonka yuzasi va haddan tashqari kimyoviy aralashmalar ko'pincha toza bo'lmagan püskürtme kamerasi, püskürtme tabancası va nishondan kelib chiqadi. Qoplamaning kompozitsion xususiyatlariga rioya qilish uchun purkalgan gazni (argon yoki kislorod) tozalash va quritish kerak. Substrat püskürtme kamerasiga o'rnatilgandan so'ng, jarayon talab qiladigan vakuumga erishish uchun havoni olish kerak. Qorong'i hududdagi, bo'shliq devori va qo'shni sirtdagi ekran qoplamasi ham toza bo'lishi kerak. Vakuum kamerasini tozalashda biz chang bo'laklarini tozalash uchun shisha to'p bilan portlatishdan foydalanishni va kamera atrofidagi erta purkash qoldiqlarini olib tashlash uchun siqilgan havo bilan birga foydalanishni va keyin alumina singdirilgan zımpara bilan tashqi yuzani jimgina jilolaymiz. Gazli qog'ozni silliqlashdan keyin u spirt, aseton va deionlangan suv bilan tozalanadi. Birgalikda u yordamchi tozalash uchun sanoat changyutgichdan foydalanishni qo'llab-quvvatlaydi. Gaozhan metall tomonidan ishlab chiqarilgan nishonlar vakuumli plastik qoplarga qadoqlangan,
O'rnatilgan namlik o'tkazmaydigan vosita. Nishonni ishlatganda, iltimos, qo'lingiz bilan nishonga tegmang. Eslatma: nishondan foydalanganda toza va tuklarsiz parvarishlash qo'lqoplarini kiying. Hech qachon qo'llaringiz bilan nishonga tegmang
2, Maqsadni tozalash
Maqsadni tozalashning maqsadi nishon yuzasida mavjud bo'lishi mumkin bo'lgan chang yoki kirni olib tashlashdir.
Metall nishonni to'rt bosqichda tozalash mumkin,
Birinchi qadam - asetonga namlangan tuklarsiz yumshoq mato bilan tozalash;
Ikkinchi bosqich birinchi bosqichga o'xshaydi, spirtli ichimlik bilan tozalash;
3-qadam: deionizatsiyalangan suv bilan tozalang. Deionizatsiyalangan suv bilan yuvib bo'lgandan so'ng, nishonni pechga qo'ying va uni 100 ℃ da 30 daqiqa davomida quriting.
Oksid va keramika nishonlarini tozalash "tuklarsiz mato" bilan amalga oshirilishi kerak.
To'rtinchi qadam - changni tozalash tizimida yoy hosil qilishi mumkin bo'lgan barcha nopok zarralarni olib tashlash uchun nishonni yuqori bosimli va past suvli gaz bilan argon bilan yuvishdir.
3, Maqsadli qurilma
Maqsadli o'rnatish jarayonida Z muhim ehtiyot choralari maqsad va püskürtme tabancasının sovutish devori o'rtasida yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligini ta'minlashdir. Agar sovutish ustunining egriligi jiddiy bo'lsa yoki orqa plastinkaning egriligi kuchli bo'lsa, maqsadli qurilma yorilib yoki egilib qoladi va orqa nishondan nishongacha bo'lgan issiqlik o'tkazuvchanligiga katta ta'sir qiladi, bu esa issiqlik tarqalishining buzilishiga olib keladi. sputtering jarayonida va maqsad yorilib yoki o'tkazib yuboriladi
Issiqlik o'tkazuvchanligini ta'minlash uchun katodli sovutish devori va nishon o'rtasida grafit qog'oz qatlami qo'yilishi mumkin. Iltimos, O-ring har doim joyida bo'lishini ta'minlash uchun ishlatiladigan püskürtme tabancasının sovutish devorining tekisligini diqqat bilan tekshiring va aniqlang.
Amaldagi sovutish suvining tozaligi va uskunaning ishlashi paytida paydo bo'lishi mumkin bo'lgan chang katodli sovutish suvi idishida to'planishi sababli, maqsadni o'rnatishda katodli sovutish suvi idishini tekshirish va tozalash kerak. sovutish suvining aylanishi va kirish va chiqish joylari bloklanmasligi kerak.
Ba'zi katodlar anod bilan kichik bo'shliqqa ega bo'lishi rejalashtirilgan, shuning uchun nishonni o'rnatishda katod va anod o'rtasida hech qanday teginish yoki o'tkazgich yo'qligiga ishonch hosil qilish kerak, aks holda qisqa tutashuv paydo bo'ladi.
Maqsadni qanday to'g'ri ishlatish haqida ma'lumot olish uchun uskunaning operatori qo'llanmasiga qarang. Agar foydalanuvchi qo'llanmasida bunday ma'lumot bo'lmasa, Gaozhan metall tomonidan taqdim etilgan tegishli takliflarga muvofiq qurilmani o'rnatishga harakat qiling. Maqsadli moslamani mahkamlashda, birinchi navbatda, bitta murvatni qo'l bilan torting, so'ngra diagonalda boshqa murvatni qo'l bilan torting. Qurilmadagi barcha murvatlar tortilguncha buni takrorlang va keyin biror narsa bilan torting.
4, Qisqa tutashuv va sızdırmazlık tekshiruvi
Maqsadli qurilma qurib bo'lingandan so'ng, butun katodning qisqa tutashuvi va mahkamligini tekshirish kerak,
Qarshilik o'lchagich yordamida katodda qisqa tutashuv mavjudligini aniqlash taklif etiladi
Qator diskriminatsiya. Katodda qisqa tutashuv yo'qligini tasdiqlaganingizdan so'ng, qochqinni aniqlash amalga oshirilishi mumkin va suv oqishi yoki yo'qligini tasdiqlash uchun katodga suv kiritilishi mumkin.
5, Maqsadni oldindan purkash
Maqsaddan oldin purkash maqsadning sirtini tozalashi mumkin bo'lgan sof argon püskürtülmesini himoya qiladi. Maqsad oldindan püskürtülürken, püskürtme kuchini asta-sekin oshirish tavsiya etiladi va keramik nishonning quvvatini oshirish tezligi 1,5WH / sm2 ni tashkil qiladi. Metall nishonning purkashdan oldingi tezligi keramik nishon blokiga qaraganda yuqori bo'lishi mumkin va oqilona quvvatni oshirish tezligi 1,5WH / sm2 ni tashkil qiladi.
Oldindan purkash jarayonida biz nishonning kamonini tekshirishimiz kerak. Tozalashdan oldingi vaqt odatda taxminan 10 minut. Agar kamon hodisasi bo'lmasa, püskürtme kuchini doimiy ravishda oshiring
Belgilangan quvvatga. Tajribaga ko'ra, metall nishonning qabul qilinadigan Z yuqori püskürtme kuchi
25 vatt / sm2, keramik nishon uchun 10 vatt / sm2. Iltimos, foydalanuvchining tizimdan foydalanish qo'llanmasida püskürtme paytida vakuum kamerasi bosimini sozlash asoslari va tajribasiga qarang. Umuman olganda, sovutish suvi chiqishidagi suv harorati 35 ℃ dan past bo'lishi kerak, ammo Z sovutish suvining aylanish tizimining samarali ishlashini ta'minlash muhimdir.
O'ta sovutilgan suvning tez aylanishi issiqlikni oladi, bu esa yuqori quvvat bilan uzluksiz püskürtmeyi ta'minlashning muhim kafolatidir. Metall maqsadlar uchun, odatda, sovutish suvi oqimi ta'kidlanadi
20lpm suv bosimi taxminan 5gmp; Keramika maqsadlari uchun odatda suv oqimi 30 lpm va suv bosimi taxminan 9 gmp bo'lishi tavsiya etiladi.
6, Maqsadli texnik xizmat ko'rsatish
Cho'kish jarayonida toza bo'lmagan bo'shliqdan kelib chiqadigan qisqa tutashuv va kamonning oldini olish uchun o'rtada va har ikki tomonda to'plangan purkagichni bosqichma-bosqich olib tashlash kerak,
Bu shuningdek, foydalanuvchilarga z yuqori quvvat zichligida doimiy ravishda chayqalishga yordam beradi
7, Maqsadli saqlash
Gaozhan metall tomonidan taqdim etilgan nishonlar ikki qavatli vakuumli plastik qoplarga qadoqlangan. Biz foydalanuvchilar nishonlarni, xoh metall, xoh keramika bo'lsin, vakuumli qadoqda saqlashlarini targ'ib qilamiz. Xususan, biriktiruvchi qatlamning oksidlanishining bog'lanish sifatiga ta'sir qilishiga yo'l qo'ymaslik uchun bog'lash maqsadlari vakuum sharoitida saqlanishi kerak. Metall nishonlarni qadoqlash bilan bog'liq holda, biz Z ni toza plastik qoplarga qadoqlash kerakligini targ'ib qilamiz
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 13-may