Sputterlangan maqsadli materiallar foydalanish jarayonida nafaqat tozalik va zarracha hajmi, balki bir xil zarracha hajmi uchun ham yuqori talablarga ega. Ushbu yuqori talablar bizni purkagichli maqsadli materiallardan foydalanishda ko'proq e'tibor berishga majbur qiladi.
1. Cho'kishni tayyorlash
Vakuum kamerasining, ayniqsa, purkash tizimining tozaligini saqlash juda muhimdir. Yog'lar, chang va oldingi qoplamalardan qolgan har qanday qoldiq suv kabi ifloslantiruvchi moddalarni to'plashi mumkin, bu to'g'ridan-to'g'ri vakuumga ta'sir qiladi va plyonka shakllanishining buzilishi ehtimolini oshiradi. Qisqa tutashuvlar, maqsadli yoylar, qo'pol plyonka hosil qiluvchi yuzalar va haddan tashqari kimyoviy aralashmalar odatda toza bo'lmagan püskürtme kameralari, qurollar va nishonlardan kelib chiqadi.
Qoplamaning kompozitsion xususiyatlarini saqlab qolish uchun purkaydigan gaz (argon yoki kislorod) toza va quruq bo'lishi kerak. Substratni püskürtme kamerasiga o'rnatgandan so'ng, jarayon uchun zarur bo'lgan vakuum darajasiga erishish uchun havoni olish kerak.
2. Maqsadni tozalash
Maqsadni tozalashning maqsadi nishon yuzasida mavjud bo'lgan har qanday chang yoki kirni olib tashlashdir.
3. Maqsadli o'rnatish
Maqsadli materialni o'rnatish jarayonida e'tibor berish kerak bo'lgan eng muhim narsa, maqsadli material va püskürtme tabancasının sovutish devori o'rtasida yaxshi termal aloqani ta'minlashdir. Agar sovutish devori yoki orqa plitasi jiddiy egri bo'lsa, maqsadli materialni o'rnatish vaqtida yorilish yoki egilishga olib kelishi mumkin. Orqa maqsaddan maqsadli materialga issiqlik uzatish katta ta'sir ko'rsatadi, natijada purkash paytida issiqlikni tarqatib bo'lmaydi, natijada maqsadli materialning yorilishi yoki og'ishiga olib keladi.
4. Qisqa tutashuv va muhrlanish tekshiruvi
Maqsadli materialni o'rnatgandan so'ng, butun katodning qisqa tutashuvi va muhrlanishini tekshirish kerak. Katodning qisqa tutashuvi yoki yo'qligini aniqlash uchun ohmmetr va megohmmetrdan foydalanish tavsiya etiladi. Katodning qisqa tutashuvi yo'qligini tasdiqlaganingizdan so'ng, qochqinning mavjudligini aniqlash uchun katodga suv quyish orqali qochqinni aniqlash mumkin.
5. Tozalashdan oldingi maqsadli material
Maqsadli materialni oldindan püskürtmek uchun sof argon gazidan foydalanish tavsiya etiladi, bu maqsadli materialning sirtini tozalashi mumkin. Maqsadli material uchun purkashdan oldingi jarayonda püskürtme kuchini asta-sekin oshirish tavsiya etiladi. Keramika maqsadli materialning kuchi
Xabar vaqti: 2023 yil 19 oktyabr