Maqsadli materialning purkashning asosiy xususiyatlari

Biz hozir maqsad bilan juda yaxshi tanish bo'lishimiz kerak, endi maqsadli bozor ham o'sib bormoqda, RSM muharriri tomonidan baham ko'rilgan purkash maqsadining asosiy ko'rsatkichi quyidagilardan iborat.

　　Poklik

Maqsadli materialning tozaligi asosiy ishlash ko'rsatkichlaridan biridir, chunki maqsadli materialning tozaligi yupqa plyonkaning ishlashiga katta ta'sir ko'rsatadi. Biroq, amaliy qo'llashda maqsadli materiallarning tozalik talablari bir xil emas. Misol uchun, mikroelektronika sanoatining jadal rivojlanishi bilan kremniy chipining o'lchami 6 ", 8" dan 12 ″ gacha ishlab chiqildi va simlarning kengligi 0,5 dan 0,25 um, 0,18 um yoki hatto 0,13 um gacha kamaydi. Ilgari, 99,995% maqsadli materialning tozaligi 0,35umIC jarayon talablariga javob berishi mumkin. Maqsadli materialning tozaligi 0,18um chiziqlarini tayyorlash uchun 99,999% yoki hatto 99,9999% ni tashkil qiladi.

　　Nopoklik tarkibi

Maqsadli qattiq moddadagi aralashmalar va teshiklardagi kislorod va suv bug'lari plyonka cho'kmasining asosiy ifloslanish manbalari hisoblanadi. Turli maqsadlar uchun mo'ljallangan materiallar turli xil aralashmalar tarkibiga turli talablarga ega. Masalan, yarimo'tkazgich sanoatida ishlatiladigan sof alyuminiy va alyuminiy qotishma maqsadlarida gidroksidi metallar va radioaktiv elementlarning tarkibiga maxsus talablar mavjud.

　　Zichlik

Maqsadli qattiq moddadagi g'ovaklikni kamaytirish va püskürtme plyonkasi ishini yaxshilash uchun odatda yuqori zichlik talab qilinadi. Nishonning zichligi nafaqat püskürtme tezligiga, balki plyonkaning elektr va optik xususiyatlariga ham ta'sir qiladi. Maqsadli zichlik qanchalik baland bo'lsa, filmning ishlashi shunchalik yaxshi bo'ladi. Bundan tashqari, nishonning zichligi va kuchini oshirish nishonni püskürtme jarayonida termal stressga yaxshiroq bardosh beradi. Zichlik, shuningdek, maqsadning asosiy ishlash ko'rsatkichlaridan biridir.

　　Don hajmi va don hajmining taqsimlanishi

Maqsad odatda mikrometrdan millimetrgacha bo'lgan don o'lchamiga ega polikristaldir. Xuddi shu maqsad uchun, mayda donalar bilan nishonning chayqalish tezligi katta donli nishonga qaraganda tezroq. Kichikroq don o'lchami farqi (bir xil taqsimot) bilan püskürtme nishoni bilan to'plangan plyonkalarning qalinligi taqsimoti bir xil bo'ladi.