Hammamizga ma'lumki, vakuumli qoplamada keng tarqalgan bo'lib qo'llaniladigan usullar vakuumli transpiratsiya va ionlarni purkashdir. Transpiratsiya qoplamasi va püskürtme qoplamasi o'rtasidagi farq nima?odamlar shunday savollar bor. Keling, siz bilan transpiratsiya qoplamasi va püskürtme qoplamasi o'rtasidagi farqni baham ko'raylik
Vakuumli transpiratsiya plyonkasi - molekulalarning issiqlik tebranish energiyasi yoki 10-2Pa dan kam bo'lmagan vakuum darajasiga ega bo'lgan muhitda qarshilikli isitish yoki elektron nurlari va lazerli qobiqlar yordamida transpiratsiya qilinadigan ma'lumotlarni belgilangan haroratga qizdirish. Ma'lumotlardagi atomlar sirtning bog'lanish energiyasidan oshib ketadi, shuning uchun ko'plab molekulalar yoki atomlar transpiratsiyalanadi yoki ko'payadi va ularni hosil qilish uchun bevosita substratga joylashtiradi. film. Ion purkash qoplamasi nishonni katod sifatida bombardimon qilish uchun elektr maydoni ta'sirida gaz chiqishi natijasida hosil bo'lgan musbat ionlarning yuqori remonstratsiya harakatidan foydalanadi, shunda nishondagi atomlar yoki molekulalar qochib, qoplangan ish qismi yuzasida hosil bo'ladi. kerakli film.
Vakuumli transpiratsiya qoplamasining eng ko'p qo'llaniladigan usuli qarshilik isitish usuli hisoblanadi. Uning afzalliklari isitish manbasining oddiy tuzilishi, arzonligi va qulay ishlashidir. Kamchiliklari shundaki, u o'tga chidamli metallar va yuqori haroratga chidamli muhit uchun mos emas. Elektron nurli isitish va lazerli isitish qarshilik isitishning kamchiliklarini bartaraf etishi mumkin. Elektron nurli isitishda fokuslangan elektron nurlar qobiqli ma'lumotlarni to'g'ridan-to'g'ri isitish uchun ishlatiladi va elektron nurning kinetik energiyasi ma'lumotlar transpiratsiyasini amalga oshirish uchun issiqlik energiyasiga aylanadi. Lazerli isitish isitish manbai sifatida yuqori quvvatli lazerdan foydalanadi, lekin yuqori quvvatli lazerning yuqori narxi tufayli uni faqat oz sonli tadqiqot laboratoriyalarida qo'llash mumkin.
Sputterlash mahorati vakuumli transpiratsiya mahoratidan farq qiladi. Sputtering, zaryadlangan zarrachalarning tananing yuzasiga (nishoniga) qaytib bombardimon qilish hodisasini anglatadi, shuning uchun qattiq atomlar yoki molekulalar sirtdan chiqariladi. Chiqarilgan zarralarning aksariyati atomik bo'lib, ular ko'pincha chayqalgan atomlar deb ataladi. Nishonlarni otish uchun ishlatiladigan zarralar elektronlar, ionlar yoki neytral zarralar bo'lishi mumkin. Elektr maydoni ostida ionlar kerakli kinetik energiyani olish oson bo'lganligi sababli, ionlar asosan qobiq zarralari sifatida tanlanadi.
Cho'kish jarayoni nurli razryadga asoslanadi, ya'ni purkash ionlari gaz razryadidan kelib chiqadi. Turli xil chayqalish qobiliyatlari turli xil porlashni chiqarish usullariga ega. DC diodli püskürtme DC porlash deşarj foydalanadi; Triodli sputtering - bu issiq katod tomonidan qo'llab-quvvatlanadigan porlash oqimi; RF purkash RF porlashini ishlatadi; Magnetronning chayqalishi - bu halqali magnit maydon tomonidan boshqariladigan porlash razryadi.
Vakuumli transpiratsiya qoplamasi bilan solishtirganda, püskürtme qoplamasi juda ko'p afzalliklarga ega. Har qanday modda, ayniqsa yuqori erish nuqtasi va past bug 'bosimi bo'lgan elementlar va birikmalar püskürtülmesi mumkin bo'lsa; Cho'kilgan plyonka va substrat o'rtasidagi yopishqoqlik yaxshi; Filmning yuqori zichligi; Film qalinligi nazorat qilinishi mumkin va takrorlanish yaxshi. Kamchilik - uskunaning murakkabligi va yuqori kuchlanishli qurilmalarni talab qilishidir.
Bundan tashqari, transpiratsiya usuli va püskürtme usulining kombinatsiyasi ion qoplamasi hisoblanadi. Ushbu usulning afzalliklari plyonka va substrat o'rtasida kuchli yopishqoqlik, yuqori cho'kma tezligi va plyonkaning yuqori zichligi.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 09-may