Hozirgi vaqtda IC sanoati tomonidan talab qilinadigan deyarli barcha yuqori darajadagi ultra yuqori toza metall mis maqsadlari bir nechta yirik xorijiy transmilliy kompaniyalar tomonidan monopollashtirilgan. Mahalliy IC sanoati uchun zarur bo'lgan barcha o'ta toza mis maqsadlari import qilinishi kerak, bu nafaqat qimmat, balki import protseduralarida ham murakkabdir, shuning uchun Xitoy zudlik bilan ultra yuqori toza (6N) mis purkash maqsadlarini ishlab chiqish va tekshirishni yaxshilashi kerak. . Keling, o'ta yuqori tozalikdagi (6N) mis purkash maqsadlarini ishlab chiqishning asosiy nuqtalari va qiyinchiliklarini ko'rib chiqaylik.
1、Ultra yuqori toza materiallarni ishlab chiqish
Xitoyda yuqori tozalikdagi Cu, Al va Ta metallarini tozalash texnologiyasi rivojlangan sanoat mamlakatlaridagidan ancha uzoqdir. Hozirgi vaqtda ta'minlanishi mumkin bo'lgan yuqori toza metallarning aksariyati sanoatda an'anaviy barcha elementlarni tahlil qilish usullari bo'yicha nishonlarni püskürtme uchun integral mikrosxemalar sifat talablariga javob bera olmaydi. Maqsaddagi qo'shimchalar soni juda yuqori yoki notekis taqsimlangan. Cho'kish paytida gofretda ko'pincha zarrachalar hosil bo'ladi, natijada qisqa tutashuv yoki o'zaro bog'lanishning ochiq tutashuvi yuzaga keladi, bu plyonkaning ishlashiga jiddiy ta'sir qiladi.
2、Mis purkash maqsadli tayyorlash texnologiyasini ishlab chiqish
Mis purkagichni maqsadli tayyorlash texnologiyasini ishlab chiqish asosan uchta jihatga qaratilgan: don hajmi, orientatsiya nazorati va bir xillik. Yarimo'tkazgich sanoati maqsadlarni purkash va xom ashyoni bug'lash uchun eng yuqori talablarga ega. Bu maqsadning sirt donalari hajmini va kristall yo'nalishini nazorat qilish uchun juda qattiq talablarga ega. Maqsadning don hajmi 100 da nazorat qilinishi kerakμ M quyida, shuning uchun don hajmini nazorat qilish va korrelyatsiyani tahlil qilish va aniqlash vositalari metall maqsadlarni ishlab chiqish uchun juda muhimdir.
3、Tahlilni ishlab chiqish vasinovdan o'tkazish texnologiya
Maqsadning yuqori tozaligi iflosliklarni kamaytirishni anglatadi. Ilgari, ifloslanishlarni aniqlash uchun induktiv bog'langan plazma (ICP) va atomik yutilish spektrometriyasi ishlatilgan, ammo so'nggi yillarda standart sifatida asta-sekin yuqori sezuvchanlikka ega bo'lgan porlash sifati tahlili (GDMS) qo'llanila boshlandi. usul. Qoldiq qarshilik nisbati RRR usuli asosan elektr tozaligini aniqlash uchun ishlatiladi. Uning aniqlash printsipi iflosliklarning elektron dispersiyasi darajasini o'lchash orqali asosiy metallning tozaligini baholashdir. Xona haroratida va juda past haroratda qarshilikni o'lchash uchun bo'lgani uchun raqamni olish juda oddiy. So'nggi yillarda metallarning mohiyatini o'rganish uchun ultra yuqori tozalik bo'yicha tadqiqotlar juda faol. Bunday holda, RRR qiymati tozalikni baholashning eng yaxshi usuli hisoblanadi.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 06-may