سپٹر ٹارگٹ میٹریل کیا ہے۔

میگنیٹرون اسپٹرنگ کوٹنگ ایک نیا فزیکل وانپر کوٹنگ کا طریقہ ہے، اس کے مقابلے میں بخارات کی کوٹنگ کے پہلے کے طریقہ کار کے مقابلے، بہت سے پہلوؤں میں اس کے فوائد کافی قابل ذکر ہیں۔ ایک پختہ ٹیکنالوجی کے طور پر، بہت سے شعبوں میں میگنیٹران سپٹرنگ کا اطلاق کیا گیا ہے۔

　　میگنیٹران سپٹرنگ اصول:

ایک آرتھوگونل مقناطیسی میدان اور برقی فیلڈ کو پھٹے ہوئے ہدف کے قطب (کیتھوڈ) اور اینوڈ کے درمیان شامل کیا جاتا ہے، اور مطلوبہ انارٹ گیس (عام طور پر آر گیس) ہائی ویکیوم چیمبر میں بھری جاتی ہے۔ مستقل مقناطیس ہدف کے مواد کی سطح پر 250-350 گاؤس مقناطیسی میدان بناتا ہے، اور آرتھوگونل برقی مقناطیسی میدان ہائی وولٹیج برقی میدان کے ساتھ بنا ہوا ہے۔ الیکٹرک فیلڈ کے اثر کے تحت، آر گیس کا آئنائزیشن مثبت آئنوں اور الیکٹرانوں میں ہوتا ہے، ہدف اور مخصوص منفی دباؤ ہوتا ہے، قطب سے ہدف سے مقناطیسی میدان کے اثر اور کام کرنے والی گیس کے آئنائزیشن کے امکانات میں اضافہ، ایک اعلی کثافت پلازما بنتا ہے۔ کیتھوڈ، لورینٹز فورس کی کارروائی کے تحت آر آئن، ہدف کی سطح پر اڑنے کی رفتار، ہدف کی سطح پر تیز رفتاری سے بمباری، ہدف پر پھٹے ہوئے ایٹم رفتار کی تبدیلی کے اصول پر عمل کریں اور اعلی حرکی توانائی کے ساتھ ہدف کی سطح سے سبسٹریٹ جمع کرنے والی فلم کی طرف اڑ جائیں۔

میگنیٹران سپٹرنگ کو عام طور پر دو قسموں میں تقسیم کیا جاتا ہے: ڈی سی سپٹرنگ اور آر ایف سپٹرنگ۔ ڈی سی سپٹرنگ کے سامان کا اصول آسان ہے، اور دھات کو سپٹرنگ کرتے وقت شرح تیز ہوتی ہے۔ آر ایف سپٹرنگ کا استعمال زیادہ وسیع ہے، اس کے علاوہ کوندکٹو مواد کو پھونکنے کے علاوہ، غیر موصل مواد کو بھی پھونکا جاتا ہے، بلکہ آکسائیڈز، نائٹرائڈز اور کاربائیڈز اور دیگر کمپاؤنڈ مواد کی ری ایکٹیو سپٹرنگ تیاری بھی۔ اگر RF کی فریکوئنسی بڑھ جاتی ہے، تو یہ مائکروویو پلازما سپٹرنگ بن جاتا ہے۔ اس وقت، الیکٹران سائکلوٹرون ریزوننس (ECR) قسم کا مائکروویو پلازما سپٹرنگ عام طور پر استعمال ہوتا ہے۔

　　Magnetron sputtering کوٹنگ ہدف مواد:

میٹل سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، کوٹنگ الائے سپٹرنگ کوٹنگ میٹریل، سیرامک ​​سپٹرنگ کوٹنگ میٹریل، بورائیڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، کاربائیڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، فلورائیڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، نائٹرائڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، آکسائیڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل۔ سلائیڈ سیرامک سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریلز، سلفائیڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ میٹریل، ٹیلورائیڈ سیرامک ​​سپٹرنگ ٹارگٹ، دیگر سیرامک ​​ٹارگٹ، کرومیم ڈوپڈ سلکان آکسائیڈ سیرامک ​​ٹارگٹ (CR-SiO)، انڈیم فاسفائیڈ ٹارگٹ (InP)، لیڈ آرسنائیڈ ٹارگٹ (PbAs)، انڈیم آرسنائیڈ ٹارگٹ ( InAs)۔