ہدف کی کارکردگی کے تقاضے کیا ہیں۔

ہدف میں ایک وسیع مارکیٹ، ایپلیکیشن ایریا اور مستقبل میں بڑی ترقی ہے۔ ہدف کے افعال کو بہتر طور پر سمجھنے میں آپ کی مدد کرنے کے لیے، یہاں ذیل میں RSM انجینئر ہدف کے اہم فنکشنل تقاضوں کا مختصر تعارف کرائے گا۔

پاکیزگی: طہارت ہدف کے اہم فعال اشارے میں سے ایک ہے، کیونکہ ہدف کی پاکیزگی فلم کے کام پر بہت زیادہ اثر ڈالتی ہے۔ تاہم، عملی اطلاق میں، ہدف کی پاکیزگی کے تقاضے بھی مختلف ہیں۔ مثال کے طور پر، مائیکرو الیکٹرانکس کی صنعت کی تیز رفتار ترقی کے ساتھ، سلیکون ویفر کا سائز 6 “8″ سے 12″ تک بڑھا دیا گیا ہے، اور وائرنگ کی چوڑائی 0.5um سے 0.25um، 0.18um یا یہاں تک کہ 0.13um تک کم ہو گئی ہے۔ اس سے پہلے، 99.995% ہدف کی پاکیزگی 0.35umic کی عمل کی ضروریات کو پورا کر سکتی ہے، جبکہ 0.18um لائنوں کی تیاری کے لیے 99.999% یا حتیٰ کہ 99.9999% ہدف کی پاکیزگی کی ضرورت ہوتی ہے۔

ناپاک مواد: ٹارگٹ ٹھوس اور آکسیجن اور چھیدوں میں پانی کے بخارات میں موجود نجاست جمع فلموں کے آلودگی کے اہم ذرائع ہیں۔ مختلف مقاصد کے لیے اہداف میں مختلف ناپاک مواد کے لیے مختلف تقاضے ہوتے ہیں۔ مثال کے طور پر، سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں استعمال ہونے والے خالص ایلومینیم اور ایلومینیم کھوٹ کے اہداف الکلی دھاتی مواد اور تابکار عنصر کے مواد کے لیے خصوصی تقاضے رکھتے ہیں۔

کثافت: ہدف کے ٹھوس میں چھیدوں کو کم کرنے اور اسپٹرنگ فلم کے کام کو بہتر بنانے کے لیے، ہدف کو عام طور پر اعلی کثافت کی ضرورت ہوتی ہے۔ ہدف کی کثافت نہ صرف اسپٹرنگ کی شرح کو متاثر کرتی ہے بلکہ فلم کے برقی اور نظری افعال کو بھی متاثر کرتی ہے۔ ہدف کی کثافت جتنی زیادہ ہوگی، فلم کا کام اتنا ہی بہتر ہوگا۔ اس کے علاوہ، ہدف کی کثافت اور طاقت کو بہتر بنایا جاتا ہے تاکہ ہدف تھرمل تناؤ کو پھٹنے کے عمل میں بہتر طور پر قبول کر سکے۔ کثافت بھی ہدف کے کلیدی فعال اشارے میں سے ایک ہے۔