اعلی طہارت کے تانبے کے ہدف کی ترقی کا امکان

اس وقت، تقریباً تمام ہائی اینڈ الٹرا ہائی پیوریٹی میٹل کاپر کے اہداف IC انڈسٹری کو درکار ہیں کئی بڑی غیر ملکی ملٹی نیشنل کمپنیوں کی اجارہ داری ہے۔ گھریلو IC صنعت کو درکار تمام الٹرا پیور تانبے کے اہداف کو درآمد کرنے کی ضرورت ہے، جو نہ صرف مہنگا ہے، بلکہ درآمدی طریقہ کار میں پیچیدہ بھی ہے، لہذا، چین کو فوری طور پر انتہائی اعلیٰ پیوریٹی (6N) تانبے کے پھٹنے والے اہداف کی ترقی اور تصدیق کو بہتر بنانے کی ضرورت ہے۔ . آئیے الٹرا ہائی پیوریٹی (6N) کاپر سپٹرنگ اہداف کی ترقی میں اہم نکات اور مشکلات پر ایک نظر ڈالتے ہیں۔

1،انتہائی اعلی طہارت کے مواد کی ترقی

چین میں اعلیٰ پاکیزگی والی Cu، Al اور Ta دھاتوں کی پیوریفیکیشن ٹیکنالوجی صنعتی ترقی یافتہ ممالک میں اس سے بہت دور ہے۔ فی الوقت، زیادہ تر اعلیٰ پاکیزگی والی دھاتیں جو فراہم کی جا سکتی ہیں، صنعت میں روایتی تمام عناصر کے تجزیہ کے طریقوں کے مطابق سپٹرنگ اہداف کے لیے مربوط سرکٹس کے معیار کی ضروریات کو پورا نہیں کر سکتیں۔ ہدف میں شمولیت کی تعداد بہت زیادہ ہے یا غیر مساوی طور پر تقسیم کی گئی ہے۔ پھٹنے کے دوران ویفر پر اکثر ذرات بنتے ہیں، جس کے نتیجے میں شارٹ سرکٹ یا آپس میں جڑے کھلے سرکٹ ہوتے ہیں، جو فلم کی کارکردگی کو بری طرح متاثر کرتے ہیں۔

2،کاپر سپٹرنگ ہدف کی تیاری کی ٹیکنالوجی کی ترقی

کاپر سپٹرنگ ہدف کی تیاری کی ٹیکنالوجی کی ترقی بنیادی طور پر تین پہلوؤں پر مرکوز ہے: اناج کا سائز، واقفیت کنٹرول اور یکسانیت۔ سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں اہداف کو پھٹنے اور خام مال کو بخارات بنانے کے لیے سب سے زیادہ تقاضے ہیں۔ اس کی سطح کے اناج کے سائز اور ہدف کے کرسٹل واقفیت کے کنٹرول کے لیے بہت سخت تقاضے ہیں۔ ہدف کے اناج کے سائز کو 100 پر کنٹرول کرنا ضروری ہے۔μ M ذیل میں، لہذا، دھاتی اہداف کی ترقی کے لیے اناج کے سائز کا کنٹرول اور ارتباطی تجزیہ اور پتہ لگانے کے ذرائع بہت اہم ہیں۔

3،تجزیہ کی ترقی اورٹیسٹنگ ٹیکنالوجی

ہدف کی اعلیٰ پاکیزگی کا مطلب ہے نجاست میں کمی۔ ماضی میں، نجاست کا تعین کرنے کے لیے انڈکٹو کپلڈ پلازما (ICP) اور جوہری جذب سپیکٹرو میٹری کا استعمال کیا جاتا تھا، لیکن حالیہ برسوں میں، اعلیٰ حساسیت کے ساتھ گلو ڈسچارج کوالٹی انالیسس (GDMS) کو بتدریج معیار کے طور پر استعمال کیا گیا ہے۔ طریقہ. بقایا مزاحمتی تناسب RRR طریقہ بنیادی طور پر برقی پاکیزگی کے تعین کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ اس کے تعین کا اصول یہ ہے کہ نجاست کے الیکٹرانک پھیلاؤ کی ڈگری کی پیمائش کرکے بیس میٹل کی پاکیزگی کا اندازہ کیا جائے۔ چونکہ یہ کمرے کے درجہ حرارت اور بہت کم درجہ حرارت پر مزاحمت کی پیمائش کرنا ہے، اس لیے نمبر لینا آسان ہے۔ حالیہ برسوں میں، دھاتوں کے جوہر کو تلاش کرنے کے لیے، انتہائی اعلیٰ پاکیزگی پر تحقیق بہت فعال ہے۔ اس صورت میں، RRR قدر پاکیزگی کا اندازہ کرنے کا بہترین طریقہ ہے۔