Зараз все більше користувачів розуміють типи цілей ійого застосування, але його підрозділ може бути не дуже зрозумілим. Тепер давайтеІнженер РСМ поділитися з вамидеяка індукція мішеней магнетронного розпилення.
Мішень для напилення: металева мішень із напиленням, мішень із сплавом, керамічна мішень, боридна кераміка, карбідно-керамічна мішень, фтористо-керамічна мішень, нітридно-керамічна мішень, оксидна керамічна мішень, селенідна керамічна мішень, силіцидно-керамічне напилення. мета, сульфідна керамічна мішень для напилення, телуридна керамічна мішень для напилення, інші керамічні мішені, керамічна мішень з оксиду кремнію, легована хромом (CR SiO), мішень з фосфіду індію (INP), мішень з арсеніду свинцю (pbas), мішень з арсеніду індію (InAs).
Магнетронне розпилення зазвичай поділяється на два типи: розпилення постійного струму та радіочастотне розпилення. Принцип роботи обладнання для напилення постійного струму простий, і його швидкість також висока під час напилення металу. Широко використовується радіочастотне напилення. Окрім розпилення електропровідних даних, він також може розпилювати непровідні дані. Мішень для розпилення також можна використовувати для реактивного розпилення для отримання складових даних, таких як оксиди, нітриди та карбіди. Якщо радіочастота збільшується, це стане мікрохвильовим плазмовим розпиленням. В даний час широко використовується мікрохвильове плазмове розпилення електронного циклотронного резонансу (ECR).
Час публікації: 26 травня 2022 р