Зі збільшенням ринкового попиту постійно оновлюється все більше типів мішеней для розпилення. Деякі знайомі, а інші незнайомі клієнтам. Тепер ми хотіли б поділитися з вами типами мішеней для магнетронного розпилення.
Мішені для розпилення мають наступні типи: мішені для напилення з металу, мішені для напилення зі сплаву, мішені для напилення з керамічного покриття, мішені для напилення з боридної кераміки, мішені для напилення з карбідної кераміки, мішені для напилення з фторидної кераміки, мішені для напилення з нітриду, кераміки з оксиду, мішені для напилення з селеніду. , силіцидна кераміка мішень для напилення, мішень для напилення з сульфідної кераміки, мішень для напилення з телуридної кераміки, інші керамічні мішені, керамічна мішень з оксиду кремнію, легована хромом (CR SiO), мішень з фосфіду індію (INP), мішень з арсеніду свинцю (pbas), мішень з арсеніду індію (InAs).
Магнетронне розпилення зазвичай поділяється на два типи: розпилення постійного струму та радіочастотне розпилення. Принцип роботи обладнання для напилення постійного струму простий, і його швидкість також висока під час напилення металу. Широко використовується радіочастотне напилення. Окрім розпилення електропровідних даних, він також може розпилювати непровідні дані. У той же час мішень для розпилення також виконує реактивне розпилення для отримання складових даних, таких як оксиди, нітриди та карбіди. Якщо радіочастота збільшується, це стане мікрохвильовим плазмовим розпиленням. В даний час широко використовується мікрохвильове плазмове розпилення електронного циклотронного резонансу (ECR).
Час публікації: 18 травня 2022 р