1、 Підготовка до напилення
Дуже важливо підтримувати вакуумну камеру, особливо систему розпилення, в чистоті. Будь-який залишок, утворений мастилом, пилом і попереднім покриттям, збиратиме водяну пару та інші забруднюючі речовини, що безпосередньо впливатиме на ступінь вакууму та збільшує ймовірність пошкодження плівки. Коротке замикання або дугоподібне утворення мішені, груба поверхня плівки та надмірний вміст хімічних домішок часто спричинені нечистою камерою розпилення, пістолетом розпилення та мішенню. Для дотримання характеристик складу покриття необхідно очистити і висушити газ, що розпилюється (аргон або кисень). Після встановлення підкладки в камеру розпилення необхідно витягнути повітря, щоб досягти необхідного для процесу вакууму. Екрануючу кришку в темній зоні, стінку порожнини та прилеглу поверхню також потрібно підтримувати в чистоті. Під час очищення вакуумної камери ми рекомендуємо використовувати дробеструйну обробку скляною кулькою для обробки запилених частин разом зі стисненим повітрям для видалення ранніх залишків розпилення навколо камери, а потім спокійно відполірувати зовнішню поверхню наждачним папером, просоченим оксидом алюмінію. Після полірування марлевий папір очищають спиртом, ацетоном і деіонізованою водою. Разом він виступає за використання промислового пилососа для допоміжного прибирання. Цілі, виготовлені Gaozhan metal, упаковані у вакуумні пластикові пакети,
Вбудований вологостійкий засіб. Використовуючи мішень, будь ласка, не торкайтеся мішені безпосередньо рукою. Примітка: під час використання мішені надягайте чисті рукавички без ворсу. Ніколи не торкайтеся мішені руками
2、 Цільове очищення
Метою очищення мішені є видалення пилу або бруду, які можуть бути на поверхні мішені.
Металеву мішень можна очистити в чотири етапи,
Першим кроком є очищення безворсовою м’якою тканиною, змоченою в ацетоні;
Другий крок аналогічний першому, очищення спиртом;
Крок 3: очистіть деіонізованою водою. Після промивання деіонізованою водою помістіть мішень у духовку та висушіть її при 100 ℃ протягом 30 хвилин.
Очищення оксидних і керамічних мішеней слід проводити «безворсовою тканиною».
Четвертий крок полягає в промиванні мішені аргоном під високим тиском і низьким рівнем водяного газу після видалення запиленої ділянки, щоб видалити всі частинки домішок, які можуть утворити дугу в системі розпилення.
3、 Цільовий пристрій
У процесі встановлення мішені Z важливими запобіжними заходами є забезпечення хорошої теплопровідності між мішенню та охолоджувальною стінкою розпилювача. Якщо викривлення охолоджувальної пластини є сильним або викривлення задньої пластини є сильним, цільовий пристрій трісне або зігнеться, і теплопровідність від задньої мішені до мішені сильно вплине, що призведе до нездатності розсіювати тепло. у процесі напилення, і мішень трісне або промахнеться
Щоб забезпечити теплопровідність, між охолоджувальною стінкою катода та мішенню можна прокласти шар графітового паперу. Будь ласка, зверніть увагу на те, щоб уважно перевірити та визначити рівність охолоджувальної стінки пістолета-розпилювача, щоб переконатися, що ущільнювальне кільце завжди на місці.
Оскільки чистота охолоджувальної води, що використовується, і пил, який може виникнути під час роботи обладнання, будуть осідати в резервуарі для води для охолодження катода, необхідно перевірити та очистити резервуар для води для охолодження катода під час встановлення мішені, щоб забезпечити безперебійність циркуляція охолоджувальної води та що вхідний і вихідний отвір не будуть заблоковані.
Деякі катоди планується мати невеликий простір з анодом, тому при установці мішені потрібно стежити, щоб між катодом і анодом не було дотику або провідника, інакше відбудеться коротке замикання.
Зверніться до посібника оператора обладнання, щоб дізнатися, як правильно керувати мішенню. Якщо в посібнику користувача немає такої інформації, будь ласка, спробуйте встановити пристрій відповідно до відповідних пропозицій, наданих Gaozhan metal. При затягуванні цільового кріплення спочатку затягніть один болт вручну, а потім вручну затягніть інший болт по діагоналі. Повторюйте це, поки всі болти на пристрої не будуть затягнуті, а потім затягніть чимось.
4、 Перевірка короткого замикання та герметичності
Після завершення виготовлення цільового пристрою необхідно перевірити замикання та герметичність всього катода,
Визначати наявність короткого замикання в катоді пропонується за допомогою вимірювача опору
Дискримінація рядків. Після підтвердження відсутності короткого замикання в катоді можна виконати виявлення витоку та ввести воду в катод, щоб підтвердити, чи є витік води.
5、 Попереднє розпилення мішені
Попереднє напилення мішені підтримує напилення чистим аргоном, яке може очистити поверхню мішені. Коли мішень попередньо розпилюється, рекомендується повільно збільшувати потужність розпилення, а швидкість збільшення потужності керамічної мішені становить 1,5 Вт·год/см2. Швидкість попереднього напилення металевої мішені може бути вищою, ніж у керамічного блоку мішені, а прийнятна швидкість збільшення потужності становить 1,5 Вт·год/см2.
У процесі попереднього розпилення нам потрібно перевірити дугу мішені. Час попереднього напилення зазвичай становить близько 10 хвилин. Якщо немає явища дуги, постійно збільшуйте потужність розпилення
До заданої потужності. Відповідно до досвіду, прийнятна Z висока потужність розпилення металевої мішені
25 Вт / см2, 10 Вт / см2 для керамічної мішені. Будь ласка, зверніться до основи налаштування та досвіду тиску у вакуумній камері під час розпилення в посібнику користувача з експлуатації системи. Як правило, слід переконатися, що температура води на виході охолоджувальної води повинна бути нижчою за 35 ℃, але Z важливо переконатися, що система циркуляції охолоджувальної води може працювати ефективно.
Швидка циркуляція переохолодженої води забирає тепло, що є важливою гарантією забезпечення безперервного розпилення з високою потужністю. Для металевих мішеней зазвичай рекомендується потік охолоджуючої води
Тиск води 20 л/хв становить приблизно 5 г/м3; Для керамічних мішеней, як правило, рекомендується, щоб потік води становив 30 л/хв, а тиск води становив приблизно 9 г/мл.
6、 Цільове обслуговування
Щоб запобігти короткому замиканню та виникненню дуги, спричиненій нечистою порожниною в процесі розпилення, необхідно поетапно видаляти розпилення, накопичене в центрі та з обох боків доріжки розпилення,
Це також допомагає користувачам безперервно розпилювати з z високою щільністю потужності
7、 Цільове зберігання
Мішені від Gaozhan metal упаковані в двошарові вакуумні пластикові пакети. Ми виступаємо за те, щоб користувачі зберігали мішені, металеві чи керамічні, у вакуумній упаковці. Зокрема, сполучні мішені необхідно зберігати в умовах вакууму, щоб запобігти впливу окислення зв’язуючого шару на якість з’єднання. Що стосується упаковки металевих мішеней, ми виступаємо за те, щоб Z був упакований у чисті пластикові пакети
Час публікації: 13 травня 2022 р