Багато користувачів, мабуть, чули про мішень для напилення, але принцип мішені для напилення має бути відносно незнайомим. Тепер редактор виданняБагатий спеціальний матеріал (RSM) поділяє принципи магнетронного розпилення мішені.
Ортогональне магнітне та електричне поле додається між розпиленим електродом-мішенню (катодом) і анодом, необхідний інертний газ (зазвичай газ Ar) заповнюється в камеру високого вакууму, постійний магніт утворює магнітне поле 250 ~ 350 Гаусса на поверхні цільових даних, а ортогональне електромагнітне поле формується з високовольтним електричним полем.
Під дією електричного поля газ Ar іонізується на позитивні іони та електрони. До цілі додається певна негативна висока напруга. Дія магнітного поля на електрони, випущені з полюса мішені, і ймовірність іонізації робочого газу збільшуються, утворюючи плазму високої щільності поблизу катода. Під дією сили Лоренца іони Ar прискорюються до поверхні мішені та бомбардують поверхню мішені з дуже високою швидкістю. Розпорошені атоми на мішені дотримуються принципу перетворення імпульсу та відлітають від поверхні мішені до підкладки з високою кінетичною енергією. депонувати плівки.
Магнетронне розпилення зазвичай поділяється на два типи: трибутарне розпилення та радіочастотне розпилення. Принцип роботи обладнання для трибютерного напилення простий, і його швидкість також висока під час напилення металу. Широко використовується радіочастотне напилення. Окрім напилення електропровідних матеріалів, він також може напилювати непровідні матеріали. У той же час він також проводить реактивне розпилення для отримання матеріалів з оксидів, нітридів, карбідів та інших сполук. Якщо частоту РЧ збільшити, це стане мікрохвильовим плазмовим розпиленням. Зараз широко використовується мікрохвильове плазмове розпилення електронного циклотронного резонансу (ECR).
Час публікації: 31 травня 2022 р