Тугоплавкі вольфрамові метали та вольфрамові сплави мають такі переваги, як висока температурна стабільність, високий опір міграції електронів і високий коефіцієнт емісії електронів. Вольфрам високої чистоти та мішені з вольфрамового сплаву в основному використовуються для виготовлення електродів затвора, з’єднувальної проводки, дифузійних бар’єрних шарів напівпровідникових інтегральних схем. Вони пред'являють дуже високі вимоги до чистоти, вмісту домішкових елементів, щільності, розміру зерен і однорідної зернистої структури матеріалів. Давайте розглянемо фактори, що впливають на підготовку мішені з вольфраму високої чистотиby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Вплив температури спікання
Процес формування зародка вольфрамової мішені зазвичай здійснюється холодним ізостатичним тиском. Під час спікання вольфрамове зерно буде рости. Зростання вольфрамового зерна заповнить проміжок між кристалічними межами, таким чином збільшуючи щільність вольфрамової мішені. Зі збільшенням часу спікання збільшення щільності вольфрамової мішені поступово сповільнюється. Основна причина полягає в тому, що якість матеріалу вольфрамової мішені не сильно змінилася після кількох процесів спікання. Оскільки більшість пустот на межі кристала заповнена кристалами вольфраму, загальна швидкість зміни розміру вольфрамової мішені дуже мала після кожного процесу спікання, що призводить до обмеженого простору для збільшення щільності вольфрамової мішені. Під час спікання великі зерна вольфраму заповнюються порожнечами, що призводить до щільнішої мішені меншого розміру.
2. Ефектhїсти час консервації
При тій самій температурі спікання компактність матеріалу вольфрамової мішені покращується зі збільшенням часу спікання. Зі збільшенням часу спікання розмір зерна вольфраму збільшується, а зі збільшенням часу спікання коефіцієнт зростання розміру зерна поступово сповільнюється. Це показує, що збільшення часу спікання також може покращити продуктивність вольфрамової мішені.
3. Вплив кочення на ціль Pпродуктивність
Щоб підвищити щільність матеріалів вольфрамової мішені та отримати структуру обробки матеріалів вольфрамової мішені, середньотемпературна прокатка матеріалів вольфрамової мішені повинна проводитися нижче температури рекристалізації. Коли температура прокатки цільової заготовки висока, волокниста структура цільової заготовки товща, тоді як цільова заготовка тонша. При гарячій прокатці вихід вище 95%. Незважаючи на те, що різниця в структурі волокна, спричинена різним початковим зерном спікання або температурою прокатки, буде усунена, більш однорідна структура волокна буде сформована всередині мішені, тому чим вище швидкість обробки теплої прокатки, тим краща продуктивність мішені.
Час публікації: травень-05-2022