Процес прив'язки дошки:
1、 Що таке зв’язування? Це стосується використання припою для зварювання матеріалу мішені до задньої мішені. Існує три основні методи: опресовування, пайка та струмопровідний клей. Цільове зв'язування зазвичай використовується для пайки, а матеріали для пайки зазвичай включають In, Sn та In Sn. Як правило, коли використовуються м’які паяльні матеріали, потужність розпилення повинна бути менше 20 Вт/см2.
2、 Навіщо зв’язувати 1. Запобігайте нерівномірній фрагментації матеріалів мішеней під час нагрівання, наприклад крихких мішеней, таких як ITO, SiO2, кераміки та спечених мішеней; 2. Зберегти * * * і запобігти деформації. Якщо матеріал мішені занадто дорогий, його можна зробити тоншим і прив’язати до задньої мішені, щоб запобігти деформації.
3、 Вибір задньої мішені: 1. Компанія Rich Special Materials Co., Ltd. зазвичай використовує безкисневу мідь із хорошою провідністю, а теплопровідність безкисневої міді краща, ніж у червоної міді; 2. Товщина помірна, і зазвичай рекомендується мати товщину задньої мішені приблизно 3 мм. Занадто товстий, споживає деяку магнітну силу; Занадто тонкий, легко деформується.
4、 Процес зв’язування 1. Попередньо обробіть поверхню цільового матеріалу та задню мішень перед зв’язуванням. 2. Помістіть матеріал мішені та задню мішень на платформу для пайки та підвищте температуру до температури зв’язування. 3. Металізуйте матеріал мішені та задню мішень. 4. З’єднайте матеріал мішені та задню мішень. 5. Охолодження та постобробка.
5、 Запобіжні заходи щодо використання зв’язаних мішеней: 1. Температура розпилення не повинна бути надто високою. 2. Струм потрібно повільно збільшувати. 3. Циркулююча охолоджуюча вода має бути нижче 35 градусів Цельсія. 4. Відповідна цільова щільність
6、 Причиною від’єднання задньої пластини є висока температура розпилення, а задня мішень схильна до окислення та деформації. Матеріал мішені трісне під час високотемпературного напилення, що спричинить від’єднання задньої мішені; 2. Сила струму надто велика, а теплопровідність надто швидка, що призводить до надто високої температури та плавлення припою, що призводить до нерівномірного припою та від’єднання задньої мішені; 3. Температура на виході циркулюючої охолоджувальної води має бути нижчою за 35 градусів Цельсія, а висока температура циркулюючої води може спричинити погане розсіювання тепла та від’єднання; 4. Щільність самого цільового матеріалу, коли щільність цільового матеріалу дуже висока, його важко адсорбувати, немає прогалин, і задня ціль легко впасти.
Час публікації: 12 жовтня 2023 р