Широке застосування цільового матеріалу в різних професіях робить попит на цільовий матеріал все більш високим. Наступне Ми будемо коротко представити ви які основні функціональні вимоги до цілі, hopінж щоб допомогти вам.
Чистота: чистота є одним із основних функціональних показників мішені, оскільки чистота мішені має великий вплив на функцію плівки. Але на практиці чистота цільового матеріалу неоднакова. Наприклад, із швидким зростанням професії мікроелектроніки розмір кремнієвої пластини збільшився з 6 дюймів, 8 дюймів до 12 дюймів, а ширина дроту зменшилася з 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм і навіть 0,13 мкм. Як тільки 99,995% цільової чистоти може відповідати технологічним вимогам 0,35UMIC. Підготовка лінії 0,18 мкм вимагає 99,999% або навіть 99,9999% чистоти цільового матеріалу.
Щільність: щоб зменшити пористість твердої речовини мішені та покращити функцію напилювальної плівки, мішень зазвичай повинна мати високу щільність. Щільність мішені впливає не тільки на швидкість розпилення, але й на електричні та оптичні властивості плівок. Чим вища щільність мішені, тим краща функція плівки. Крім того, щільність і міцність матеріалу мішені було збільшено, щоб зробити його здатнішим протистояти термічним навантаженням під час напилення. Щільність також є одним із важливих функціональних показників цільових речовин.
Вміст домішок: домішки в цільовій твердій речовині та кисень і водяна пара в порах є основними джерелами забруднення накопичених плівок. Різні цільові матеріали для різних цілей мають різні вимоги до різного вмісту домішок. Наприклад, мішені з чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, мають особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.
Час публікації: 6 червня 2022 р