Завдяки високій температурній стабільності, високому опору міграції електронів і високому коефіцієнту емісії електронів тугоплавкого вольфраму та вольфрамових сплавів, високочисті мішені з вольфраму та вольфрамового сплаву в основному використовуються для виготовлення затворних електродів, з’єднувальної проводки, дифузійних бар’єрних шарів тощо напівпровідників. інтегральних схем і мають високі вимоги до чистоти, вмісту домішок, щільність, зернистість і однорідність зернистої структури матеріалів. Тепер давайте подивимося на фактори, які впливають на підготовку мішені з вольфраму високої чистоти.
1、 Вплив температури спікання
Процес формування ембріона вольфрамової мішені, як правило, здійснюється шляхом холодного ізостатичного пресування. Зерна вольфраму будуть рости під час процесу спікання. Зростання зерен вольфраму заповнить проміжок між межами зерен, таким чином покращуючи щільність вольфрамової мішені. Зі збільшенням часу спікання збільшення щільності вольфрамової мішені поступово сповільнюється. Основна причина полягає в тому, що після багаторазового спікання якість вольфрамової мішені не сильно змінилася. Оскільки більшість пустот на межі зерен заповнена кристалами вольфраму, після кожного спікання загальна швидкість зміни розміру вольфрамової мішені була дуже малою, що призводило до обмеженого простору для збільшення щільності вольфрамової мішені. У процесі спікання вирощені зерна вольфраму заповнюються в порожнечі, що призводить до більшої щільності мішені з меншим розміром частинок.
2、 Вплив часу витримки
При тій самій температурі спікання компактність вольфрамової мішені буде покращена з подовженням часу витримки спікання. З подовженням часу витримки розмір зерна вольфраму буде збільшуватися, а з подовженням часу витримки час зростання розміру зерна поступово сповільнюватиметься, що означає, що збільшення часу витримки також може покращити продуктивність вольфрамова мішень.
3、 Вплив прокатки на властивості цілі
Щоб підвищити щільність матеріалу вольфрамової мішені та отримати обробну структуру матеріалу вольфрамової мішені, середньотемпературна прокатка матеріалу вольфрамової мішені повинна проводитися нижче температури рекристалізації. Якщо температура прокатки цільової заготовки висока, волокниста структура цільової заготовки буде грубою, і навпаки. Коли швидкість теплої прокатки досягає більше 95%. Незважаючи на те, що різниця в структурі волокон, спричинена різними початковими зернами або різними температурами прокатки, буде усунена, внутрішня структура мішені утворюватиме відносно однорідну структуру волокон, тому чим вище швидкість обробки теплої прокатки, тим краща продуктивність мішені.
Час публікації: 15 лютого 2023 р