Цільовий матеріал, який використовується в індустрії зберігання даних, вимагає високої чистоти, а домішки та пори повинні бути зведені до мінімуму, щоб уникнути утворення частинок домішок під час напилення. Цільовий матеріал, який використовується для високоякісних продуктів, вимагає, щоб розмір його кристалічних частинок був малим і однорідним і не мав кристалічної орієнтації. Нижче розглянемо вимоги індустрії оптичних накопичувачів до цільового матеріалу?
1. Чистота
У практичних застосуваннях чистота цільових матеріалів змінюється залежно від різних галузей промисловості та вимог. Однак, загалом, чим вища чистота матеріалу мішені, тим краща продуктивність напиленої плівки. Наприклад, у промисловості оптичних накопичувачів чистота цільового матеріалу повинна бути вище 3N5 або 4N
2. Вміст домішок
Матеріал мішені служить джерелом катода при напиленні, а домішки в твердому тілі, а також кисень і водяна пара в порах є основними джерелами забруднення для осадження тонких плівок. Крім того, існують особливі вимоги до мішеней різного призначення. Візьмемо, наприклад, галузь оптичних накопичувачів, щоб забезпечити якість покриття, вміст домішок у мішенях для розпилення має бути дуже низьким.
3. Зернистість і гранулометричний склад
Зазвичай матеріал мішені має полікристалічну структуру з розміром зерен від мікрометрів до міліметрів. Для мішеней з однаковим складом швидкість розпилення дрібнозернистих мішеней є вищою, ніж крупнозернистих мішеней. Для мішеней з меншою різницею розміру зерен товщина нанесеної плівки також буде більш рівномірною.
4. Компактність
Щоб зменшити пористість у твердому матеріалі мішені та покращити характеристики плівки, зазвичай потрібно, щоб матеріал мішені для розпилення мав високу щільність. Щільність цільового матеріалу в основному залежить від процесу підготовки. Цільовий матеріал, виготовлений методом плавлення та лиття, може гарантувати, що всередині цільового матеріалу немає пор, а щільність дуже висока.
Час публікації: 18 липня 2023 р