Ціль має багато ефектів, а простір для розвитку ринку великий. Це дуже корисно в багатьох сферах. Майже все нове обладнання для розпилення використовує потужні магніти для закручування електронів у спіраль для прискорення іонізації аргону навколо мішені, що призводить до збільшення ймовірності зіткнення між мішенню та іонами аргону. Тепер давайте подивимося на роль мішені для напилення у вакуумному покритті.
Покращити швидкість розпилення. Як правило, напилення постійним струмом використовується для металевого покриття, тоді як напилення радіочастотним змінним струмом використовується для непровідних керамічних магнітних матеріалів. Фундаментальним принципом є використання тліючого розряду для попадання іонів аргону (AR) на поверхню мішені у вакуумі, і катіони в плазмі прискоряться, щоб кинутися до поверхні негативного електрода, як розбризкуваний матеріал. Цей удар призведе до того, що матеріал мішені вилетить і осідає на підкладці, утворюючи плівку.
Загалом, існує декілька характеристик плівкового покриття за допомогою процесу напилення: (1) метал, сплав або ізолятор можуть бути перетворені на плівку.
(2) За відповідних умов налаштування плівку з однаковим складом можна виготовити з кількох невпорядкованих мішеней.
(3) Суміш або з’єднання цільового матеріалу та молекул газу можна отримати шляхом додавання кисню або інших активних газів у розрядну атмосферу.
(4) Цільовий вхідний струм і час напилення можна контролювати, і легко отримати високоточну товщину плівки.
(5) У порівнянні з іншими процесами, це сприяє виробництву однорідних плівок великої площі.
(6) На розпилені частинки майже не впливає сила тяжіння, і положення мішені та підкладки можуть вільно розташовуватися.
Час розміщення: 17 травня 2022 р