Класифікація та застосування мішеней магнетронного розпилення

　　1. Метод магнетронного розпилення:

Магнетронне розпилення можна розділити на розпилення постійного струму, середньочастотне розпилення та радіочастотне розпилення.

A. Джерело живлення розпилення постійного струму дешеве, а щільність нанесеної плівки низька. Як правило, побутові фототермічні та тонкоплівкові батареї використовуються з низькою енергією, а мішенню для розпилення є провідна металева мішень.

B. Енергія радіочастотного розпилення є високою, а об’єкт розпилення може бути непровідною або провідною.

C. Середньочастотна мішень для напилення може бути керамічною або металевою.

　　2. Класифікація та застосування мішеней для розпилення

Існує багато видів мішеней для розпилення, і методи класифікації мішеней також різні. За формою вони поділяються на довгі, квадратні та круглі; За складом його можна розділити на металеву мішень, мішень із сплаву та керамічну мішень; Відповідно до різних сфер застосування, його можна розділити на керамічні мішені, пов’язані з напівпровідниками, керамічні мішені із середнім записом, керамічні мішені для відображення тощо. Мішені для напилення в основному використовуються в електронній та інформаційній галузях, наприклад у промисловості зберігання інформації. У цій галузі мішені для розпилення використовуються для виготовлення відповідних тонкоплівкових виробів (жорсткий диск, магнітна головка, оптичний диск тощо). В даний час. З безперервним розвитком інформаційної індустрії попит на керамічні мішені середнього розміру на ринку зростає. Дослідження та виробництво носіїв запису мішеней стали центром великої уваги.