В останні роки з прогресом технології інтегральних схем (ІС) швидко розвиваються відповідні програми інтегральних схем. Мішень для напилення з алюмінієвого сплаву надвисокої чистоти, як допоміжний матеріал у виробництві металевих з’єднань інтегральних схем, стала гарячою темою останніх вітчизняних досліджень. Редактор RSM покаже нам характеристики мішені для напилення з алюмінієвого сплаву високої чистоти.
Для подальшого підвищення ефективності розпилення магнетронної мішені та забезпечення якості нанесених плівок велика кількість експериментів показує, що існують певні вимоги до складу, мікроструктури та орієнтації зерна мішені для розпилення з алюмінієвого сплаву надвисокої чистоти.
Розмір зерна та орієнтація зерна мішені мають великий вплив на підготовку та властивості плівок ІС. Результати показують, що швидкість осадження зменшується зі збільшенням розміру зерна; Для розпилюваної мішені з таким самим складом швидкість розпилення мішені з малим розміром зерна є вищою, ніж швидкість розпилення мішені з великим розміром зерна; Чим більш рівномірний розмір зерна мішені, тим більш рівномірний розподіл товщини нанесених плівок.
За тих самих інструментів розпилення та параметрів процесу швидкість розпилення мішені зі сплаву Al Cu зростає зі збільшенням атомної щільності, але загалом вона стабільна в певному діапазоні. Вплив розміру зерна на швидкість розпилення обумовлений зміною атомної щільності зі зміною розміру зерна; На швидкість осадження головним чином впливає орієнтація зерна мішені зі сплаву Al Cu. На основі забезпечення частки (200) кристалічних площин, збільшення частки (111), (220) і (311) кристалічних площин збільшить швидкість осадження.
Розмір зерна та орієнтація зерна мішеней із алюмінієвого сплаву надвисокої чистоти в основному регулюються та контролюються гомогенізацією зливка, гарячою обробкою та рекристалізаційним відпалом. Зі збільшенням розміру пластини до 20,32 см (8 дюймів) і 30,48 см (12 дюймів) розмір мішені також збільшується, що висуває більш високі вимоги до мішеней для напилення з алюмінієвого сплаву надвисокої чистоти. Щоб забезпечити якість плівки та продуктивність, необхідно суворо контролювати цільові параметри обробки, щоб зробити цільову мікроструктуру однорідною, а орієнтація зерна повинна мати сильну (200) і (220) плоску текстуру.
Час публікації: 30 червня 2022 р