Тріщини в мішенях для напилення зазвичай виникають у керамічних мішенях для напилення, таких як оксиди, карбіди, нітриди, і крихких матеріалах, таких як хром, сурма, вісмут. Тепер дозвольте технічним експертам RSM пояснити, чому тріскається мішень для напилення та які запобіжні заходи можна вжити, щоб уникнути цієї ситуації.
Мішені з кераміки або крихкого матеріалу завжди містять внутрішні напруги. Ці внутрішні напруги виникають у цільовому процесі виробництва. Крім того, ці напруги не усуваються повністю в процесі відпалу, оскільки вони є властивими характеристиками цих матеріалів. У процесі розпилення бомбардування іонами газу передає їх імпульс цільовим атомам, надаючи їм достатньо енергії, щоб відокремити їх від решітки. Ця екзотермічна передача імпульсу викликає підвищення цільової температури, яка може досягати 1000000 ℃ на атомному рівні.
Ці термічні удари збільшують існуючу внутрішню напругу в мішені у багато разів. У цьому випадку, якщо тепло не розсіюється належним чином, мішень може зламатися. Щоб запобігти тріщинам мішені, слід підкреслити розсіювання тепла. Для видалення небажаної теплової енергії від мішені потрібен механізм водяного охолодження. Ще одне питання, яке слід розглянути, це збільшення потужності. Занадто велика потужність, прикладена за короткий час, також спричинить термічний удар цілі. Крім того, ми пропонуємо прив’язати ці мішені до об’єднавчої плати, що може не тільки забезпечити підтримку цілі, але й сприяти кращому теплообміну між мішенню та водою. Якщо мішень має тріщини, але вона з’єднана із задньою пластиною, її можна використовувати.
Rich Special Materials Co., Ltd. може надати мішені для розпилення з задньою платою. Його можна налаштувати відповідно до вимог замовника щодо матеріалу, товщини та типу склеювання.
Час публікації: 21 вересня 2022 р