Як ми всі знаємо, чистота є одним з основних показників ефективності мішені. У реальному використанні вимоги до чистоти мішені також відрізняються. У порівнянні зі звичайним промисловим чистим титаном, титан високої чистоти дорогий і має вузький діапазон застосувань. Він в основному використовується для задоволення потреб деяких спеціальних галузей. Отже, які основні сфери застосування мішеней з титану високої чистоти? Тепер давайте слідувати спеціаліст зRSM.
Використання титанових мішеней високої чистоти в основному включає в себе наступні моменти:
1. Біоматеріали
Титан є немагнітним металом, який не намагнічується в сильному магнітному полі, має хорошу сумісність з людським тілом, нетоксичні побічні ефекти та може використовуватися для виготовлення пристроїв, імплантованих людині. Як правило, медичні титанові матеріали не досягають рівня титану високої чистоти, але, враховуючи розчинення домішок у титані, чистота титану для імплантатів має бути якомога вищою. У літературі згадується, що високочистий титановий дріт може бути використаний як біологічний сполучний матеріал. Крім того, титанова ін'єкційна голка з вбудованим катетером також досягла рівня титану високої чистоти.
2. Декоративні матеріали
Титан високої чистоти має чудову стійкість до атмосферної корозії та не змінює колір після тривалого використання в атмосфері, забезпечуючи оригінальний колір титану. Таким чином, титан високої чистоти також може використовуватися як будівельний оздоблювальний матеріал. Крім того, останнім часом деякі високоякісні прикраси та деякі предмети носіння, такі як браслети, годинники та оправи для окулярів, виготовляються з титану, який має переваги його стійкості до корозії, відсутності зміни кольору, тривалого гарного блиску та відсутності чутливості до шкіри людини. Чистота титану, який використовується в деяких прикрасах, досягла рівня 5N.
3. Інспіраторний матеріал
Титан, як метал з дуже активними хімічними властивостями, може реагувати з багатьма елементами та сполуками при високих температурах. Титан високої чистоти має сильну адсорбцію активних газів (наприклад,，，CO，， водяна пара вище 650℃), а плівка Ti, що випаровується на стінці насоса, може утворювати поверхню з високою адсорбційною здатністю. Ця властивість робить Ti широко використовуваним як геттер в системах надвисокого вакууму. У разі використання в сублімаційних насосах, іонних насосах для розпилення тощо кінцевий робочий тиск іонних насосів для розпилення може бути таким низьким, як Па.
4. Електронні інформаційні матеріали
Останніми роками, зі швидким розвитком напівпровідникових технологій, інформаційних технологій та інших галузей високих технологій, титан високої чистоти все частіше використовується в мішенях для напилення, інтегральних схемах, DRAM і дисплеях з плоскими панелями, і чистота титану потрібна все більше і більше. У напівпровідниковій промисловості НВІС сполуки титану кремнію, сполуки нітриду титану, сполуки титану вольфраму тощо використовуються як дифузійний бар’єр і матеріали для проводки для керуючих електродів. Ці матеріали виготовляються методом напилення, а титанова мішень, що використовується методом напилення, вимагає високої чистоти, особливо вміст елементів лужних металів і радіоактивних елементів дуже низький.
На додаток до вищезазначених сфер застосування, титан високої чистоти також використовується в спеціальних сплавах і функціональних матеріалах
Час публікації: 11 липня 2022 р