Для підтримки п’єзоелектричних датчиків MEMS (pMEMS) на основі плівки та компонентів радіочастотних (РЧ) фільтрів алюмінієвий скандієвий сплав, виготовлений компанією Rich Special Material Co., Ltd., спеціально використовується для реактивного осадження плівок нітриду алюмінію, легованих скандієм. .
Тонкоплівкові п’єзоелектричні матеріали все частіше використовуються в автомобільному, промисловому та персональному електронному обладнанні. Додатки включають датчики відбитків пальців на основі pmt і пристрої розпізнавання жестів, мікрофони MEMS, хімічні датчики на основі резонаторів і медичні датчики. Крім того, плівки з нітриду алюмінію, леговані скандієм, все більше потрібні для реалізації радіочастотних фільтрів для мереж 5G. Одночасно збільшується кількість алюмінієвого скандієвого сплаву.
Властивості сплаву Al Sc
Висока стабільна хімічна однорідність у всьому сплаві
Висока стабільна хімічна однорідність плівки протягом усього терміну служби чіпа та сплаву
Чистота>99,9%, низький вміст кисню, низький критичний вміст забруднюючих речовин
Суворо контролюйте мікроструктуру, щоб досягти найкращих характеристик напилення
Вакуумне лиття, повністю щільний сплав з низькою адгезією, низькою мінливістю та низькою зернистістю
Rich Special Material Co., Ltd. підтримує різноманітні послуги з виплавки сплавів, цільового налаштування та досліджень і розробок.
Час публікації: 11 листопада 2022 р