Барыбызга да билгеле булганча, вакуум парга әйләнү һәм ион чәчелүе гадәттә вакуум каплауда кулланыла. Парлану каплавы белән бөтерелгән каплау арасында нинди аерма бар? Алга таба RSM техник белгечләре безнең белән уртаклашачак.
Вакуум парга әйләнү - 10-2Pa ким булмаган вакуум дәрәҗәсе булган мохиттә каршылык җылыту яки электрон нур һәм лазер бомбардирасы ярдәмендә парга әйләнергә тиешле материалны җылыту, молекулаларның җылылык тибрәнү энергиясе яки материалдагы атомнар өслекнең бәйләүче энергиясеннән артып китәләр, шуңа күрә күп санлы молекулалар яки атомнар парга әйләнәләр яки сублиматлашалар, һәм кино формалаштыру өчен субстратка турыдан-туры яуалар. Ион чәчкеч каплау электр кыры тәэсирендә газ чыгару аркасында барлыкка килгән уңай ионнарның югары тизлекле хәрәкәтен куллана, максатны катод итеп бомбардировать итү өчен, максаттагы атомнар яки молекулалар качып, капланган эш өслегенә төшәләр. кирәкле фильм.
Вакуум парга әйләнүнең иң еш кулланыла торган ысулы - каршылык җылыту, ул гади структура, аз чыгымлы һәм уңайлы эш өстенлекләренә ия; Кимчелек - ул отрядлы металллар һәм югары температурага чыдам диэлектрик материаллар өчен яраксыз. Электрон нур җылыту һәм лазер белән җылыту каршылык җылыту җитешсезлекләрен җиңә ала. Электрон нурны җылытканда, тупланган электрон нур бомбардировщик материалны турыдан-туры җылыту өчен кулланыла, һәм электрон нурның кинетик энергиясе җылылык энергиясенә әверелә, бу материалны парга әйләндерә. Лазер җылыту югары чыганаклы лазерны җылыту чыганагы итеп куллана, ләкин югары көчле лазерның бәясе зур булганга, аны хәзерге вакытта берничә тикшеренү лабораториясендә кулланырга мөмкин.
Чәчү технологиясе вакуум парга әйләнү технологиясеннән аерылып тора. "Спуттеринг" корылма кисәкчәләре каты өслекне (максатны) бомбардировать итә һәм каты атомнар яки молекулалар өслектән атыла торган күренешне аңлата. Чыгарылган кисәкчәләрнең күбесе атом хәлендә, ул еш кына атылган атом дип атала. Максатны бомбалау өчен кулланылган бөтерелгән кисәкчәләр электрон, ион яки нейтраль кисәкчәләр булырга мөмкин. Ионнар кирәкле кинетик энергия алу өчен электр кыры астында тизләнү җиңел булганга, аларның күбесе ионнарны бомбардировщик кисәкчәләр итеп кулланалар. Чәчү процессы ялтыравыкка нигезләнә, ягъни ионнар газ чыгарудан килә. Төрле чәчү технологияләре төрле ялтырату режимын кабул итәләр. DC диодның бөтерелүе DC ялтыравыкны куллана; Триодның бөтерелүе - кайнар катод ярдәмендә ялтыравыклы агызу; RF чәчкәсе RF ялтыравыкны куллана; Магнитронның бөтерелүе - еллык магнит кыры белән идарә итүче ялтыравыклы агызу.
Вакуум парга әйләнү белән чагыштырганда, бөтерелгән каплау күп өстенлекләргә ия. Мәсәлән, теләсә нинди матдә бөтерелергә мөмкин, аеруча югары эрү ноктасы һәм түбән пар басымы булган элементлар һәм кушылмалар. Бөтерелгән пленка белән субстрат арасында ябышу яхшы; Filmгары кино тыгызлыгы; Фильм калынлыгын контрольдә тотарга һәм кабатлау яхшы. Кимчелек - җиһаз катлаулы һәм югары көчәнешле җайланмалар таләп итә.
Моннан тыш, парга әйләнү ысулы белән бөтерелү ысулы комбинациясе - ион белән каплау. Бу ысулның өстенлекләре шунда: алынган фильм субстрат белән нык ябышу, югары чокыр тизлеге һәм кино тыгызлыгы.
Пост вакыты: 20-2022 июль