Yarı iletken endüstrisi genellikle hedef malzemeler için gofret malzemeleri ve ambalaj malzemeleri olarak ikiye ayrılabilen bir terim görür. Ambalaj malzemeleri, gofret üretim malzemeleriyle karşılaştırıldığında nispeten düşük teknik engellere sahiptir. Gofretlerin üretim süreci esas olarak, bir tür püskürtme hedef malzemesi de dahil olmak üzere 7 tür yarı iletken malzeme ve kimyasal içerir. Peki hedef malzeme nedir? Hedef materyal neden bu kadar önemli? Bugün hedef materyalin ne olduğundan bahsedeceğiz!
Hedef malzeme nedir?
Basitçe söylemek gerekirse, hedef malzeme, yüksek hızlı yüklü parçacıklar tarafından bombardımana tutulan hedef malzemedir. Farklı hedef malzemeleri (alüminyum, bakır, paslanmaz çelik, titanyum, nikel hedefler vb.) değiştirerek farklı film sistemleri (süper sert, aşınmaya dayanıklı, korozyon önleyici alaşımlı filmler vb.) elde edilebilir.
Şu anda, (saflıkta) püskürtme hedef malzemeleri şu şekilde ayrılabilir:
1) Metal hedefler (saf metal alüminyum, titanyum, bakır, tantal vb.)
2) Alaşımlı hedefler (nikel krom alaşımı, nikel kobalt alaşımı vb.)
3) Seramik bileşik hedefleri (oksitler, silisitler, karbürler, sülfürler vb.).
Farklı anahtarlara göre şu şekilde ayrılabilir: uzun hedef, kare hedef ve dairesel hedef.
Farklı uygulama alanlarına göre yarı iletken çip hedefleri, düz panel ekran hedefleri, güneş pili hedefleri, bilgi depolama hedefleri, değiştirilmiş hedefler, elektronik cihaz hedefleri ve diğer hedeflere ayrılabilir.
Buna bakarak, yüksek saflıkta püskürtme hedeflerinin yanı sıra metal hedeflerde kullanılan alüminyum, titanyum, bakır ve tantal hakkında da bilgi sahibi olmanız gerekir. Yarı iletken levha üretiminde, alüminyum işlemi genellikle 200 mm (8 inç) ve altındaki levhaların üretimi için ana yöntemdir ve kullanılan hedef malzemeler esas olarak alüminyum ve titanyum elementlerdir. 300 mm (12 inç) levha üretimi, çoğunlukla gelişmiş bakır ara bağlantı teknolojisi kullanılarak, esas olarak bakır ve tantal hedefler kullanılarak yapılır.
Herkes hedef materyalin ne olduğunu anlamalıdır. Genel olarak, çip uygulamalarının artması ve çip pazarındaki talebin artmasıyla birlikte, endüstrideki dört ana ince film metal malzemesine, yani alüminyum, titanyum, tantal ve bakıra olan talepte kesinlikle bir artış olacaktır. Ve şu anda bu dört ince film metal malzemenin yerini alabilecek başka bir çözüm yok.
Gönderim zamanı: Temmuz-06-2023